2月24日消息，有投資者在投資者互動平臺提問：徐州博康的Arf產(chǎn)品進展情況如何？可以介紹一下旗下的相關(guān)產(chǎn)品不？

華懋科技2月24日在投資者互動平臺表示，徐州博康具備干法ArF光刻膠及濕法ArF光刻膠的技術(shù)能力，產(chǎn)品種類涵蓋了L／S及C／H兩類光刻膠。干法ArF產(chǎn)品HTA13X及HTA12X系列可應(yīng)用至90nm／65nm／55nm工藝節(jié)點，濕法ArF產(chǎn)品HTA11X系列可應(yīng)用至40nm／28nm工藝節(jié)點。

此外，徐州博康已經(jīng)具備半導(dǎo)體光刻膠樹脂研發(fā)、生產(chǎn)體系，已經(jīng)成功開發(fā)出50多款半導(dǎo)體光刻膠樹脂，目前旗下光刻膠產(chǎn)品用樹脂全部屬于自供。

據(jù)公開資料顯示，徐州博康位于江蘇省邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，是集研發(fā)、生產(chǎn)、經(jīng)營中高端光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹脂為主的國家高新技術(shù)企業(yè)，也是目前本土企業(yè)中，唯一可以規(guī)模化生產(chǎn)中高端光刻膠單體材料的制造商。公司自成立以來一直專注于高端精細(xì)化工領(lǐng)域醫(yī)藥中間體和高端電子化學(xué)品的研發(fā)、生產(chǎn)，目前現(xiàn)有職工100多人，其中專業(yè)技術(shù)人員50人，建有3000m2研發(fā)中心，已獲得十多項發(fā)明專利，先進的分析檢測設(shè)備，完備的中試設(shè)備，標(biāo)準(zhǔn)化的生產(chǎn)車間。企業(yè)擁有自己的核心技術(shù)研發(fā)團隊、中試放大團隊及生產(chǎn)團隊，并通過專業(yè)化的流程管理來控制產(chǎn)品質(zhì)量。

徐州博康專注于光刻膠原材料到成品的自主研發(fā)及生產(chǎn)，實現(xiàn)了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及終產(chǎn)品光刻膠的國產(chǎn)化自主可控的供應(yīng)鏈；擁有5000平方研發(fā)中心，位于松江漕河涇科技綠洲，研發(fā)團隊200余人，博士和碩士占比50％以上。配置有KrFNikonS204、I9、I12、ACT8track、日立CDSEM等先進光刻檢測設(shè)備，以及其它理化檢測設(shè)備如ICP－MS、HPLC、GC、IR等。

徐州博康產(chǎn)品線涵蓋193nm／248nm光刻膠單體、193nm／248nm光刻膠、G線／I線光刻膠、電子束光刻膠等產(chǎn)品。目前已成功開發(fā)出40＋個中高端光刻膠產(chǎn)品系列，包括多種電子束膠，ArF干法光刻膠，KrF正負(fù)型光刻膠，I線正負(fù)型光刻膠及GHI超厚負(fù)膠，應(yīng)用于IC集成電路制造多個環(huán)節(jié)，服務(wù)客戶超100家。

今年6月，徐州博康被列入建議支持的國家級專精特新“小巨人”企業(yè)。在產(chǎn)業(yè)資本和政府的支持下，徐州博康新建年產(chǎn)1100噸光刻材料及1萬噸電子溶劑新工廠已于2021年6月份正式投產(chǎn)，項目全部達(dá)產(chǎn)后，可實現(xiàn)年產(chǎn)值20億元，這也是中國目前第一個可以規(guī)模化生產(chǎn)中高端光刻膠的生產(chǎn)基地。