12月17日，南大光電公告，公司控股子公司寧波南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品近日成功通過客戶的使用認證。
“ArF光刻膠產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”是寧波南大光電承接國家“02專項”的一個重點攻關項目。該項目總投資6億元，完全達產(chǎn)后，預計實現(xiàn)約10億元的年銷售額，年利稅預計約2億元。
按不同制程，半導體用光刻膠可分為EUV光刻膠、ArF光刻膠、KrF光刻膠及G線、i線光刻膠，前三者均為高端光刻膠產(chǎn)品。本次產(chǎn)品的認證通過，標志著“ArF光刻膠產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項目取得了關鍵性的突破，成為國內(nèi)通過產(chǎn)品驗證的第一只國產(chǎn)ArF光刻膠。
ArF光刻膠材料是集成電路制造領域的重要關鍵材料，可以用于90nm-14nm甚至7nm技術節(jié)點的集成電路制造工藝，廣泛應用于高端芯片制造。
全球半導體光刻膠市場集中度高，市場被美日公司長期壟斷,日本的JSR、東京應化、信越化學及富士電子四家企業(yè)占據(jù)了全球70%以上的市場份額。受益于本土半導體產(chǎn)能持續(xù)擴大和集成電路大基金的支持，國產(chǎn)光刻膠正在迎來前所未有的發(fā)展機遇。
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