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不需EUV光刻機也能生產5nm芯片,半導體技術迎來重大突破

2021-10-26
來源:OFweek電子工程網
關鍵詞: EUV 5nm 芯片 半導體

如今,隨著半導體制程技術越來越先進,對于制造芯片的機械設備的要求也越來越高,于是荷蘭ASML公司生產的EUV光刻機成為半導體制程技術的關鍵生產設備。但是,由于EUV光刻機造價高昂,每臺價格超過1億美元,并且EUV光刻機制造難度大,產能嚴重不足等原因,使得各大芯片生產公司瘋狂搶奪EUV光刻機,并且如果缺少光刻機的話,芯片的生產成本將大幅提高。

面對如此嚴峻的問題,日本存儲大廠鎧俠(Kioxia)聯合半導體設備廠佳能、光罩等半導體零組件制造商大日本印刷株式會社(DNP)共同開發了一種新的NIL制程技術,可以在不適用EUV光刻機的情況下就能夠使半導體制程技術進到5nm

據悉,現在鎧俠已經掌握了15nm的制程量產技術,目前正在全力進行15nm一下技術的研發,預計將于2025年進一步達成計劃目標。

對比于現在已商用化的EUV光刻技術,鎧俠方面表示,NIL技術優勢在于可以大幅減少耗能,并降低設備成本。原因在于NIL 技術的微影制程較為單純,耗電量可壓低至EUV技術的10%,并讓設備投資降低至僅有EUV設備的40%。目前,高端的EUV光刻機只有荷蘭ASML一家能夠生產供應,其不但價格高,而且需要許多檢測設備的配合,并且生產極為困難,產能極其有限。

不過,雖然NIL技術有許多的優點,但現階段在投入量產上仍有不少問題有待解決,其中比較大的問題就是對比EUV光刻機來說,NIL技術更容易因空氣中的細微塵埃的影響而形成瑕疵。

據悉,對鎧俠來說,NAND零組件因為采取3D立體堆疊結構,更容易適應NIL技術制程。而鎧俠也表示,目前已成功解決NIL的基本技術問題,正在進行量產技術的推進工作,希望能較其他競爭對手率先引入到NAND生產當中。而一旦鎧俠能成功率先引入NIL技術并實現量產,有望彌補在設備投資競賽中的不利局面,又能符合減少碳排放的需求。

另外,根據DNP的說法,NIL量產技術電路微縮程度可達5nm節點,并且DNP從2021 年的春天開始,就已經在根據設備的規格值進行內部的模擬仿真當中。而對于這樣的技術進步,DNP透露說,已經有不少半導體制造商開始詢問NIL 量產技術,這就表示不少廠商對NIL技術寄予厚望。

另一個合作伙伴佳能,也致力于將NIL量產技術廣泛的應用于制作DRAM及PC用的CPU等邏輯芯片的設備上,以在未來供應更多的半導體制造商,將來也希望能應用于手機應用處理器等最先進制程上。

假如NIL未來能成功開發出來,對于現在的半導體行業來說絕對是個大好消息,半導體芯片的產能將因此得到大幅提高,也能夠很大程度的緩解如今全球范圍內的缺芯問題。




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