《電子技術(shù)應(yīng)用》
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三星成功流片全球第一顆20nm工藝試驗(yàn)芯片

2011-07-14
來源:Csia

  三星電子日前宣布,已經(jīng)成功實(shí)現(xiàn)了20nm工藝試驗(yàn)芯片的流片,這也是迄今為止業(yè)內(nèi)最先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝。
  
  三星電子此番利用了美國加州電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化企業(yè)CadenceDesignSystems提供的一體化數(shù)字流程RTL-to-GDSII
  
  。這套基于Encounter的流程和方法完全能夠滿足三星20nm試驗(yàn)芯片從IP集成到設(shè)計(jì)驗(yàn)證的復(fù)雜需求,包括Encounter數(shù)字部署系統(tǒng)、EncounterRTL編譯器、Incisive企業(yè)模擬器、Encounter電源系統(tǒng)、QRCExtraction提取工具、Encounter計(jì)時(shí)系統(tǒng)、Encounter測試與物理驗(yàn)證系統(tǒng)、EncounterNanoRoute路由等等。
  
  三星的試驗(yàn)芯片由ARMCortex-M0微處理器和ARMArtisan物理IP組成,不過三星并未透露采用20nm工藝制造的這顆芯片包含了多少晶體管、在核心面積上又有多大。
  
  另據(jù)了解,三星20nm工藝將使用第二代后柵極(GateLast)和高K金屬柵極(HKMG)技術(shù),第二代超低K電介質(zhì)材料,第五代應(yīng)變硅晶圓,193毫米沉浸式光刻工藝。
  
  盡管只是剛剛流片成功,三星的20nm早期工藝設(shè)計(jì)套裝(PDK)已經(jīng)向客戶開放,方便他們開始著手下一代新工藝產(chǎn)品的設(shè)計(jì)。
  
  三星和Cadence公司此前就已經(jīng)有過深入合作,包括在IBM領(lǐng)導(dǎo)的CommonPlatform(通用平臺(tái));聯(lián)盟下的3228nm工藝,以及低功耗HKMG技術(shù)等等。

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