11月24日消息，據媒體報道，據“中科飛測”公眾號發文，中科飛測首臺晶圓平坦度測量設備GINKGOIFM-P300已正式出貨，交付至HBM（高帶寬存儲器）領域客戶。
作為半導體先進制造中的關鍵工藝控制設備，該設備專為圖案化與非圖案化晶圓的高精度幾何與納米形貌檢測而設計，可對多種晶圓進行高精度量測。
GINKGOIFM-P300基于公司成熟的量測平臺打造，融合創新硬件系統與智能算法，為IC制造商提供從研發到量產全流程的晶圓質量監控方案。該設備廣泛適配≥96層3D NAND、≤1Xnm邏輯芯片、DRAM及HBM等先進制程。
中科飛測團隊經過多年技術攻關，成功實現了300mm大口徑晶圓平整度測量的系統性突破，自主研制了包括高精度雙斐索干涉儀與低噪聲照明系統在內的核心模塊，可實現高穩定、高清晰度的干涉成像，為高精度測量奠定基礎。
該設備具備多維度指標檢測能力，覆蓋翹曲、弓形、納米形貌、平面內位移、局部曲率等參數，并能同步捕捉晶圓厚度變化與邊緣滾降特征。
GINKGOIFM-P300的成功推出，標志著我國在高精度晶圓量測領域實現重要突破，打破了國外廠商的長期壟斷。該設備可應對超高翹曲晶圓、低反射率晶圓的測量挑戰，并支持鍵合后晶圓以及SiC、GaAs等化合物半導體襯底的全參數檢測。
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