《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > EDA與制造 > 業界動態 > 我國在硅光子集成領域取得里程碑式突破

我國在硅光子集成領域取得里程碑式突破

2024-10-08
來源:芯智訊

1.png

據“九峰山實驗室”官方消息,2024年9月,該實驗室在硅光子集成領域取得里程碑式突破性進展——成功點亮集成到硅基芯片內部的激光光源,這也是該項技術在國內的首次成功實現。

隨著人工智能大模型的開發和應用,以及自動駕駛等技術的發展,對于芯片算力的需求持續提升,但是半導體先進制程工藝已經越來越逼近物理極限,在單個芯片上增加晶體管密度這條路徑越來越難,每一代制程的提升所能夠帶來的性能提升或功耗降低也越來越有限,同時還帶來成本的急劇上升,這也意味著摩爾定律無法繼續發揮作用。為此,不少半導體廠商將目光轉向了先進封裝技術,即通過將多個芯粒封裝在同一塊基板上,以提升晶體管數量,從而提高性能。

但是,在單個封裝單元中芯粒越多,它們之間的互連就越多,數據傳輸距離也就越長,傳統的電互連技術迫切需要演進升級。與電信號相比,光傳輸的速度更快、損耗更小、延遲更少,芯片間光互聯技術被認為是推動下一代信息技術革命的關鍵技術,也被認為是在后摩爾時代突破集成電路技術發展所面臨的功耗、帶寬和延時等瓶頸的理想方案。

2.png

△芯片間光互聯示意圖

目前業界對硅光全集成平臺的開發最難的挑戰在于對硅光芯片的“心臟”,即能高效率發光的硅基片上光源的開發和集成上。該技術是我國光電子領域在國際上僅剩不多的空白環節。

此次九峰山實驗室硅光工藝團隊與合作伙伴協同攻關,成功在8英寸硅光晶圓上異質鍵合III-V族激光器材料外延晶粒,再進行CMOS兼容性的片上器件制成工藝,成功解決了III-V材料結構設計與生長、材料與晶圓鍵合良率低,及異質集成晶圓片上圖形化與刻蝕控制等難點。經過近十年的追趕攻關,終成功點亮片內激光,實現“芯片出光”。

3.png

△九峰山實驗室8英寸硅基片上光源芯片晶圓

相較于傳統的分立封裝外置光源和FC微組裝光源,九峰山實驗室片上光源技術能有效解決傳統硅光芯片耦合效率不夠高、對準調節時間長、對準精度不夠好的工藝問題,突破了制作成本高、尺寸大、難以大規模集成等量產瓶頸。

資料顯示,湖北九峰山實驗室主要聚焦于化合物半導體研發與創新,于2023年3月正式投入運營。成立一年半時間,九峰山實驗室就吸引了近30家半導體鏈條企業比鄰而居,總估值超百億元,培育半導體領域人才超3萬人。九峰山實驗室在這一年時間里,還實現了8英寸中試線通線運行,首批晶圓(高精密光柵)成功下線,填補了國內高線密度、超高折射率、非周期性高精密光柵生產工藝空白。

2024年2月20日,九峰山實驗室宣布全球首片8英寸硅光薄膜鈮酸鋰光電集成晶圓成功在該實驗室下線。該成果使用8英寸SOI硅光晶圓鍵合8寸鈮酸鋰晶圓,單片集成光電收發功能,為目前全球硅基化合物光電集成最先進技術。該項成果可實現超低損耗、超高帶寬的高端光芯片規模制造,為目前全球綜合性能最優的光電集成芯片。

4.png

除自身不斷創新突破外,作為國內為數不多的公共、開放、中立、共享的科研平臺,九峰山實驗室還與產業鏈各龍頭企業通力合作,以“用”為導向,布局開發共性技術,推進國產半導體材料、設備的驗證工作,打造化合物半導體中試平臺。

在九峰山實驗室,9000平方米的潔凈室內,有上百個項目在同時運轉:

上海邦芯半導體科技有限公司研發的刻蝕、薄膜沉積設備,在九峰山實驗室的助推下,實現多款設備的量產。

武漢驛天諾科技有限公司與九峰山實驗室合作開發的硅光及三代半導體晶圓級、芯片級、器件級封測裝備,測試精度達到微米級。

華工科技研制的首套高端半導體晶圓激光切割系列裝備借助九峰山實驗室平臺通過了中試驗證,獲取測試報告的設備已成功導入下游企業。

驛天諾科技有限公司董事長單娜表示,在九峰山實驗室平臺的引薦下,公司已經拓展了一批新客戶,獲得了一批訂單,下一步還會入駐九峰山科技園區,進一步擴大經營規模。

九峰山實驗室有關負責人此前在接受媒體采訪時表示,我們希望與更多合作伙伴共同點亮化合物半導體平臺、技術、產業的“燈塔”,為未來3~10年的技術難題進行前沿探索和技術攻關,打通全產業鏈條中的“斷點”,拉平產學研融合發展的鴻溝,引領全球化合物半導體技術進步。

目前,九峰山實驗室周邊已聚集了近30家化合物半導體龍頭企業和創新型中小企業,到2025年,這里將聚集產業鏈企業100家以上,培育1到2家細分領域龍頭企業,在存儲、化合物半導體、傳感器、先進封裝等細分領域打造一批創新產品,形成化合物半導體全產業生態。


Magazine.Subscription.jpg

本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
亚洲一区二区欧美_亚洲丝袜一区_99re亚洲国产精品_日韩亚洲一区二区
老巨人导航500精品| 欧美国产视频在线| 亚洲欧洲美洲综合色网| 欧美一区二区三区日韩| 亚洲女性喷水在线观看一区| 一个色综合导航| 日韩视频免费观看高清在线视频| 亚洲国产成人精品久久| 好吊一区二区三区| 韩国一区二区三区美女美女秀| 国产毛片久久| 国产日韩欧美一区二区三区四区| 国产精品日韩精品欧美在线| 国产精品区免费视频| 国产精品高清网站| 国产精品久久九九| 国产精品拍天天在线| 国产精品无码永久免费888| 国产精品久久网站| 国产精品自在在线| 国产性做久久久久久| 国产亚洲毛片在线| 精品1区2区3区4区| 亚洲国产精品成人久久综合一区| 雨宫琴音一区二区在线| 亚洲高清久久| 亚洲伦理在线免费看| 亚洲视频国产视频| 欧美一区二区三区免费大片| 欧美在线观看日本一区| 亚洲国产老妈| 日韩亚洲欧美高清| 亚洲影院色无极综合| 亚欧成人精品| 麻豆成人综合网| 欧美日韩成人一区二区| 国产精品久久精品日日| 国产女主播一区二区| 好看的av在线不卡观看| 亚洲国产日韩欧美综合久久| 日韩一级免费| 午夜精品久久一牛影视| 亚洲国产精品一区二区尤物区| 99精品国产高清一区二区| 亚洲夜晚福利在线观看| 久久国产精品一区二区| 噜噜噜久久亚洲精品国产品小说| 欧美精品一区二区蜜臀亚洲| 国产精品久久久久免费a∨| 国产亚洲精品久| 亚洲国产老妈| 中文国产成人精品久久一| 午夜性色一区二区三区免费视频| 亚洲观看高清完整版在线观看| 999亚洲国产精| 亚洲欧美日韩精品久久奇米色影视 | 久久久久久亚洲精品不卡4k岛国| 欧美电影打屁股sp| 欧美新色视频| 一区二区自拍| 在线亚洲一区观看| 久久国产主播| 亚洲一区二区三区久久 | 好吊一区二区三区| 99在线视频精品| 久久国产日本精品| 亚洲午夜在线观看| 久久在线91| 国产精品成人一区二区艾草| 黄色成人免费观看| 99精品欧美一区二区蜜桃免费| 欧美一区二区啪啪| 亚洲一区二区精品视频| 久久久久成人精品免费播放动漫| 欧美日韩国产精品一区二区亚洲| 国产麻豆综合| 一本综合久久| 亚洲激情国产| 久久国产日韩| 欧美系列一区| 91久久在线| 久久精品一本久久99精品| 亚洲影院在线观看| 欧美高清免费| 国产专区欧美精品| 一区二区三区www| 亚洲精品一区二区三区婷婷月| 久久激五月天综合精品| 国产精品国产精品| 亚洲精品国产精品久久清纯直播| 欧美在线观看视频| 午夜视频在线观看一区二区三区| 欧美激情综合网| 激情一区二区| 欧美一区二区三区婷婷月色| 亚洲欧美日韩区| 欧美日韩精品免费 | 亚洲欧美日韩一区二区三区在线| av成人毛片| 欧美国产日韩精品免费观看| 国内外成人免费视频| 亚洲免费伊人电影在线观看av| 一区二区三区视频在线播放| 免费在线观看一区二区| 红桃视频亚洲| 久久国产天堂福利天堂| 久久成人18免费观看| 国产精品激情| 一区二区电影免费在线观看| 一区二区三区四区国产精品| 欧美精选在线| 亚洲国产一区二区精品专区| 亚洲国产欧美一区二区三区同亚洲| 久久人人97超碰国产公开结果 | 亚洲国产一区二区三区a毛片| 久久婷婷国产麻豆91天堂| 国产日韩av一区二区| 午夜一区二区三区不卡视频| 性做久久久久久免费观看欧美| 国产精品免费一区二区三区在线观看| 一区二区三区四区五区视频| 亚洲图片欧洲图片av| 欧美日韩在线视频一区二区| 一区二区三区|亚洲午夜| 亚洲无线视频| 国产精品久久综合| 亚洲一区成人| 久久av一区二区| 国产一区二区三区av电影| 欧美一区二区久久久| 久久九九99视频| 黄色成人在线网址| 亚洲黄色天堂| 欧美精品aa| 99亚洲视频| 亚洲欧美在线一区二区| 国产精品女人网站| 欧美亚洲免费| 久久一区视频| 最新日韩在线| 亚洲校园激情| 国产精品香蕉在线观看| 欧美一区国产二区| 免费成人av在线| 亚洲欧洲精品一区二区三区波多野1战4| 99热这里只有精品8| 欧美日韩综合在线| 亚洲免费网站| 看欧美日韩国产| 亚洲精品免费一区二区三区| 亚洲一区二区视频在线| 国产午夜亚洲精品不卡| 亚洲欧洲一区二区在线播放| 欧美日韩一卡二卡| 亚洲一区在线播放| 老色鬼精品视频在线观看播放| 亚洲区第一页| 欧美一区二区三区四区在线观看地址 | 亚洲国产色一区| 欧美日韩在线精品| 亚洲欧美精品在线| 久久综合狠狠综合久久综青草 | 亚洲视频电影图片偷拍一区| 久久久久欧美精品| 亚洲欧洲精品一区二区| 午夜欧美电影在线观看| 一区二区三区无毛| 在线综合亚洲| 国产在线高清精品| 在线一区免费观看| 国产日韩综合| 999亚洲国产精| 国产视频在线一区二区 | 欧美小视频在线| 亚洲第一毛片| 欧美性事免费在线观看| 久久国产精品亚洲va麻豆| 欧美日韩精品一二三区| 欧美一区二区三区视频在线 | 日韩一二三区视频| 久久久亚洲精品一区二区三区| 亚洲精品一品区二品区三品区| 欧美淫片网站| 亚洲国产天堂久久综合网| 欧美一区二区三区在线| 亚洲精品免费在线观看| 久久久777| 国产精品99久久久久久人| 欧美va亚洲va国产综合| 小嫩嫩精品导航| 国产精品国产三级国产专区53| 亚洲欧洲一区二区天堂久久 | 亚洲精品乱码久久久久久日本蜜臀| 久久国产视频网站| 99国产精品久久久久久久久久| 久久先锋资源| 亚洲欧美一区二区在线观看| 欧美日韩少妇| 亚洲国产综合视频在线观看| 国产女同一区二区|