如果將芯片制造比作雕刻，那光刻機(jī)就是將雕刻線稿（電路圖）描繪在材料（晶圓表面）上的畫筆。它決定著芯片的工藝水平和性能，是制造半導(dǎo)體芯片的關(guān)鍵裝備。

近日，項(xiàng)目總投資約50億元的上海圖雙精密裝備項(xiàng)目落戶紹興市越城區(qū)，成為紹“芯”版圖上的又一塊新拼圖。項(xiàng)目計(jì)劃分兩期實(shí)施。一期計(jì)劃投資約5億元，一期占地面積35畝，用于轉(zhuǎn)移及擴(kuò)大公司目前在上海的產(chǎn)能；二期計(jì)劃投資約45億元。兩期將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)50-100臺半導(dǎo)體設(shè)備的目標(biāo)。項(xiàng)目正在建設(shè)中，預(yù)計(jì)2025年投產(chǎn)。

這家上海高新技術(shù)企業(yè)為何會將生產(chǎn)基地放在越城？上海圖雙董事長鐘敏道出了背后的原因。去年下半年，基于連年的業(yè)績增長，公司計(jì)劃在長三角地區(qū)籌建大型生產(chǎn)基地。經(jīng)過幾次拜訪和對接，鐘敏被越城的滿滿誠意打動。“招商政策好，產(chǎn)業(yè)集聚性強(qiáng)，項(xiàng)目也有專人全流程服務(wù)，企業(yè)發(fā)展前景廣闊。”談及越城的營商環(huán)境，鐘敏給予了很高評價(jià)。

經(jīng)過多年的深耕細(xì)作，越城已集聚起近百家集成電路及相關(guān)規(guī)上企業(yè)，初步形成以特色工藝、先進(jìn)封裝為核心的全產(chǎn)業(yè)鏈條，產(chǎn)值規(guī)模超500億元，穩(wěn)居浙江省集成電路行業(yè)第一梯隊(duì)。眾多龍頭企業(yè)齊聚，用精湛的技藝和無盡的創(chuàng)造力，將硅片轉(zhuǎn)化為驅(qū)動未來的強(qiáng)大引擎。

光刻設(shè)備是發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的核心設(shè)備，卻一直處于“卡脖子”狀態(tài)。光刻機(jī)最先進(jìn)的技術(shù)被荷蘭的ASML、日本的尼康、佳能三大國際大廠壟斷。尤其是最為先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，全世界僅有ASML一家能夠提供。目前，在光刻機(jī)領(lǐng)域，國內(nèi)眾多集成電路生產(chǎn)企業(yè)仍需通過進(jìn)口來滿足產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求。

此次成功引入的上海圖雙精密裝備項(xiàng)目，不僅能根據(jù)市場需求研發(fā)生產(chǎn)國產(chǎn)光刻機(jī)，也能對國外光刻機(jī)進(jìn)行定制化改造、調(diào)試。“光刻機(jī)比較精密，設(shè)備的裝調(diào)是相當(dāng)重要的環(huán)節(jié)。”鐘敏解釋道，超高的精密度要求是造成光刻機(jī)技術(shù)難以在短時(shí)間內(nèi)取得突破的主要原因之一。以EUV光刻機(jī)為例，其零件數(shù)量超過45萬個(gè)，是一輛F1賽車的20倍以上。因而，光刻機(jī)從出廠，經(jīng)船運(yùn)或空運(yùn)到達(dá)項(xiàng)目安裝地后，還需要幾個(gè)月的時(shí)間進(jìn)行裝調(diào)。

目前，上海圖雙的技術(shù)能力和資源已覆蓋ASML、尼康、佳能三家公司的6寸、8寸、12寸光刻機(jī)，能按照不同的芯片產(chǎn)品特性及工藝進(jìn)行設(shè)備再制造、技術(shù)匹配、工藝調(diào)試等定制化服務(wù)，從而更好地滿足本地集成電路產(chǎn)業(yè)的“芯”質(zhì)生產(chǎn)，在持續(xù)提升芯片價(jià)值的同時(shí)降低制造成本，與“芯”友共同推動集成電路產(chǎn)業(yè)的崛起。

作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“皇冠上的明珠”，光刻機(jī)的動態(tài)進(jìn)展格外受到關(guān)注。對于朝著浙江集成電路“第一區(qū)”目標(biāo)沖刺的越城而言，完善半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)也是答好時(shí)代“芯”命題的必然要求。隨著更多集成電路產(chǎn)業(yè)鏈核心項(xiàng)目的落地生根，越城的“芯”夢想愈發(fā)清晰。