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ASML火災(zāi)涉200平EUV光學(xué)部件產(chǎn)線

2022-01-06
來源: 芯片大師
關(guān)鍵詞: ASML EUV 火災(zāi)

  導(dǎo)讀:有分析師警告,ASML柏林廠火災(zāi)可能拉長全球芯片短缺的持續(xù)時間。

  芯片大師昨日報道2022第一把火,燒到了ASML光刻機工廠,盡管官方目前尚無明確損失及對供應(yīng)鏈影響產(chǎn)生,但有分析師警告,這起意外可能拉長全球晶片短缺的持續(xù)時間。

  據(jù)TrendForce初步了解,占地32,000平方米的柏林廠區(qū)中,約200平方米廠區(qū)受火災(zāi)影響。

  而該廠區(qū)主要制造光刻機中所需的光學(xué)相關(guān)零組件,例如晶圓臺、光罩吸盤和反射鏡,其中用以固定光罩的光罩吸盤處于緊缺狀態(tài)。目前該廠零組件以供應(yīng)EUV機臺較多,且以晶圓代工的需求占多數(shù)。

  若屆時因火災(zāi)而造成零組件交期有所延后,不排除ASML將優(yōu)先分配主要的產(chǎn)出支援晶圓代工訂單的可能性。

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  圖:正在運輸中的ASML光刻機

  由于晶圓代工產(chǎn)能短缺,ASML正產(chǎn)能全開運轉(zhuǎn)。路透社指出,該公司任何的出貨延遲,都可能沖擊正試著提高產(chǎn)能的晶圓廠客戶。ASML是全球唯一的EUV先進制程設(shè)備供應(yīng)商,在成熟制程的DUV設(shè)備市場,則有日本Nikon等對手。

  彭博資訊分析師指出,ASML柏林廠生產(chǎn)微影設(shè)備的關(guān)鍵零組件,若該公司出貨量因為這起意外減少10%,可能導(dǎo)致全球微影工具的供應(yīng)減少約8.4%,因為ASML在這塊市場的市占率為84%,可能拉長全球芯片荒的持續(xù)時間。

  晶圓代工方面,EUV主要使用于7nm以下的先進制程制造。目前全球僅臺積電(TSMC)與三星(Samsung)使用該設(shè)備進行制造,包括TSMC 7nm、5nm、3nm制程工藝,三星于韓國華城的EUV產(chǎn)線(7nm、5nm及4nm)以及3nm GAA制程工藝等。

  不過,受到全球晶圓代工產(chǎn)能緊缺、各廠積極擴廠等因素影響,半導(dǎo)體設(shè)備交期也越拉越長,成為光刻機供應(yīng)外的另一個短板。

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  圖:單價超6億元的NXE:3350B EUV光刻機

  DRAM方面,目前三星及SK海力士(SK hynix)已使用在1Z nm及1 alpha nm制程上,美光(Micron)則預(yù)計于2024年導(dǎo)入EUV于1 gamma nm制程。

  目前,ASML EUV設(shè)備的交期落在約12~18個月,也因為設(shè)備交期較長,ASML有機會在設(shè)備組裝時間等待該工廠所損失的相關(guān)零組件重新制造完成。

  整體而言,ASML德國柏林工廠火災(zāi)對晶圓代工及存儲器而言,將可能對EUV光刻機設(shè)備制造產(chǎn)生較大影響。而根據(jù)TrendForce的消息掌握,ASML所需的零組件亦不排除通過其他廠區(qū)取得,加上目前EUV設(shè)備交期相當長,因此,實際對EUV供應(yīng)的影響有可能被時間稀釋。

  


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