3月8日，上海新陽發布公告披露其購買光刻機設備進展情況。
公告顯示，公司自立項開發193nmArF干法光刻膠的研發及產業化項目以來，安排購買了ASML-1400光刻機等核心設備，并于2020年12月14日在《關于公司申請向特定對象發行股票的審核問詢函的回復》中披露，該光刻機將于2020年底前運抵國內。
后由于公司與光刻機供應商、北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司（以下簡稱“合作方”）溝通協調設備運輸與安裝等細節，致使設備沒能在規定時間內運達，但與合作方就具體合作細節簽署了《合作框架協議》，預計該光刻機將于2021年3月底前進入合作方現場。
現經各方積極協商、運作，該光刻機設備于今日（3月8日）已進入合作方北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司場地，后續將進行安裝調試等相關工作。
上海新陽表示，公司采購的ASML干法光刻機設備順利交付，對加快193nmArF干法光刻膠產品開發進度有積極影響，有利于進一步提升公司光刻膠產品的核心競爭 力，加快落實公司發展戰略，提高公司抗風險能力和可持續發展能力。
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