作為國內最大最先進的晶圓代工廠，中芯國際SMIC在疫情疫情期間依然沒有停產，同時還在擴大14nm等先進工藝產能。日前羊城晚報報道稱，中芯國際進口的荷蘭ASML光刻機順利入廠。

據報道，這次購買光刻機的是中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司，昨天他們從荷蘭進口的一臺大型光刻機順利通過出口加工區(qū)場站兩道閘口進入廠區(qū)。

據悉，這臺機器主要用于企業(yè)復工復產后的生產線擴容。

中芯國際表示，坪山海關一系列服務措施，保障了設備第一時間進入廠區(qū)完成安裝進入生產，生產線擴容后全年預計可為企業(yè)增加10％左右的營收。

報道沒有提及中芯國際購買的光刻機的詳情，不過肯定可以排除最新的EUV光刻機，現在進口的應該還是193nm波長的DUV系列光刻機。

ASML的DUV光刻機型號

雖然沒有EUV技術，但ASML的沉浸式DUV光刻機依然可以制造28nm到7nm之間的各種芯片，中芯國際此前也表態(tài)下兩代工藝N＋1、N＋2（相當于7nm LPE低功耗、7nm LPP高性能）也不會上EUV光刻機。

與EUV光刻機動輒1億美元以上的售價相比，DUV光刻機要便宜很多，但也要3000－5000萬美元，還要有數目不菲的安裝服務費用，足以讓很多小公司望而卻步。

中芯國際沒有公布擴產的工藝具體是什么，但99％可能是14nm工藝，這是2020年中芯國際重點中的重點，去年底產能不過1000片／月，今年3月將達到4K，7月達到9K，12月達到15K。

根據中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松的說法，1000片／月的產能就差不多要1億美元的投入，15K晶圓／月的產能意味著15億美元的投資。

放在以前，這樣的投資是不劃算的，不過現在這兩年情況不同了，中芯國際的14nm及未來的7nm工藝無論如何都是要上的。

作者：憲瑞