《電子技術(shù)應(yīng)用》
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美光積極準(zhǔn)備EUV技術(shù),爭(zhēng)取與三星及SK海力士競(jìng)爭(zhēng)

2020-12-26
來(lái)源:全球半導(dǎo)體觀察
關(guān)鍵詞: DRAM EUV 美光 存儲(chǔ)器

根據(jù)韓國(guó)媒體《Etnews》報(bào)導(dǎo)指出,目前全球3大DRAM存儲(chǔ)器中尚未明確表示采用EUV極紫外光刻機(jī)的美商美光(Micron),因日前招聘網(wǎng)站開(kāi)始征求EUV工程師,揭露美光也在進(jìn)行EUV運(yùn)用于DRAM先進(jìn)制程,準(zhǔn)備與韓國(guó)三星、SK海力士競(jìng)爭(zhēng)。
     報(bào)導(dǎo)指出,美光招聘敘述是“企業(yè)內(nèi)部開(kāi)發(fā)EUV應(yīng)用技術(shù),并管理新EUV系統(tǒng),以及與EUV設(shè)備制造商阿斯麥(ASML)溝通”,工作地點(diǎn)就在美光總部美國(guó)愛(ài)達(dá)荷州。美光已開(kāi)始生產(chǎn)第3代10納米級(jí)(1z)DRAM存儲(chǔ)器,預(yù)計(jì)2021上半年開(kāi)始大量生產(chǎn)第4代10納米級(jí)(1a)DRAM存儲(chǔ)器。

與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手三星、SK海力士不同的是,美光不打算將EUV技術(shù)運(yùn)用在第4代10納米級(jí)DRAM存儲(chǔ)器,而是未來(lái)第7代10納米級(jí)(1d)DRAM存儲(chǔ)器。
     存儲(chǔ)器與CPU邏輯制程一樣,近年面臨制程微縮的問(wèn)題。如果使用EUV光刻技術(shù),可減少多重曝光過(guò)程,提供更細(xì)微的制程精度與良率,進(jìn)一步減少產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)間并降低成本,還可提高效能。不過(guò),EUV光刻設(shè)備每部單價(jià)近1.5億歐元,初期投資成本較深紫外光光刻設(shè)備(DUV)高許多,因此會(huì)讓廠商考慮再三。美光先前就是因成本考量,加上采用DUV設(shè)備打造的DRAM符合市場(chǎng)需求,因此時(shí)程落后三星及SK海力士。

 目前三星已在第3代10納米級(jí)DRAM存儲(chǔ)器生產(chǎn)導(dǎo)入EUV技術(shù),且還預(yù)計(jì)2021年發(fā)表第4代10納米級(jí)的DRAM存儲(chǔ)器生產(chǎn)增加EUV技術(shù)。至于SK海力士則將在2021年量產(chǎn)第4代10納米級(jí)DRAM存儲(chǔ)器導(dǎo)入EUV技術(shù),目前SK海力士也分批導(dǎo)入EUV設(shè)備,預(yù)計(jì)在京畿道利川市的新DRAM工廠建立EUV技術(shù)產(chǎn)線。
     相較兩家競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手已導(dǎo)入或正導(dǎo)入EUV技術(shù),美光顯然落后。外界解讀這次美光招聘EUV工程人員,目的在于先研究EUV運(yùn)作技術(shù),以在未來(lái)正式推出相關(guān)技術(shù)的產(chǎn)品。因市場(chǎng)預(yù)期存儲(chǔ)器市場(chǎng)將逐漸迎接正循環(huán)周期,美光也藉此儲(chǔ)備未來(lái)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的最佳能量。


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