光刻機是半導體生產制造流程的核心設備,由于技術復雜、技術壟斷,導致價格昂貴。
最近,光刻機全球領導廠商荷蘭ASML發布最新報告,ASML宣布,今年一季度,他們共獲得了73 臺光刻機訂單,其中 11 臺是極紫外EUV光刻機。這 73 臺光刻機訂單中,有 72 臺將是新生產的光刻機,另外 1 臺則是翻新的光刻機。據介紹,這73 臺光刻機訂單金額高達 30.85 億歐元,其中11臺EUV光刻機的訂單金額為15億歐元。
根據ASML此前的財報數據,2019年Q1,ASML獲得的光刻機訂單是 34 臺,金額 13.99 億歐元。相比去年一季度,無論是訂單數量還是訂單金額,ASML在今年一季度都實現了暴增。
從高端的極紫外EUV光刻機訂單量來看,ASML去年的財報顯示,2019年ASML全年共計出貨26臺EUV光刻機,而今年僅一季度就獲得了11臺EUV光刻機訂單,可以預計,今年在EUV光刻機的出貨量上,也要遠超去年。
根據最新的訂單金額,21ic小編粗算了一下,最高端的EUV光刻機每臺大約10億元人民幣,即便是中低端的光刻機產品,每臺也要約2億元人民幣。
這么昂貴的設備,ASML的光刻機都賣給了誰呢?
光刻機是半導體生產的必備設備,全球的晶圓廠、代工廠原則上都是ASML的潛在客戶,尤其是在EUV光刻機產品上,ASML是獨家供貨商。根據去年的數據,其售出的26臺極紫外線(EUV)光刻機中的一半左右賣給了臺積電公司。
中國的晶圓代工企業中芯國際也向ASML預定了極紫外EUV光刻機,但遺憾的是,由于種種原因,目前仍未能到貨。
不過,雖然沒有EUV光刻機,但據中芯國際梁孟松介紹,中芯國際已研發了N+1、N+2工藝,N+1與現在的14nm工藝相比,性能有20%的提升,功耗將會降低50%,并且SoC面積對比減小55%。如果從性能上來看,該工藝與7nm稍有差距,但是功耗要低得很多。可以看出,基本上,中芯國際N+1、N+2工藝已十分接近7nm工藝,該技術將于2020年底開始試驗產能。