2019年3月15日,粵芯半導體(CanSemi)12英寸生產線項目舉行設備搬入儀式。
僅僅12個月的時間,粵芯半導體項目就完成廠房建設,實現設備搬入。2018年3月開始樁基工程,7月31日完成主廠房首塊華夫板澆筑,10月11日主廠房封頂,12月7日潔凈室正壓送風;2019年3月搬入設備。
此次搬入的主設備包括來自阿斯麥(ASML)的光刻機、應用材料(AMAT)的晶圓缺陷檢測設備、泛林集團 (Lam Research)的刻蝕機和東京電子(TEL)、科天(KLA)的機臺。遺憾的是,沒看到一家國產設備商的身影。
設備的搬入標志著粵芯半導體項目建設進入關鍵性節點,距離量產又近了一步。
粵芯半導體采用130nm到180nm工藝節點生產,產品包括微處理器、電源管理芯片、模擬芯片、功率分立器件等,滿足物聯網、汽車電子、人工智能、5G等創新應用的模擬芯片需求。
粵芯半導體首席執行官陳衛表示,一期項目將于2019年6月投片、2019年9月15日量產,預計年底達到月產能2萬片,規劃總產能4萬片。并透露,預計從2021年開始投入二期的建設,以40nm到65nm的模擬芯片為目標。
助力廣州芯提速
2014年6月《推進綱要》的發布,國內掀起了集成電路建設高潮,廣州也加快了集成電路產業發展步伐。
2018年1月17日,廣州市政府常務會議原則通過了《廣州市加快IAB產業發展五年行動計劃(2018-2022年)》;6月3日,成立了廣州市半導體行業協會;10月11日,粵港澳大灣區半導體產業聯盟宣告成立;12月25日,廣州市工信委正式印發《廣州市加快發展集成電路產業的若干措施》,為廣州市集成電路產業發展確定了規劃與目標。
《廣州市加快發展集成電路產業的若干措施》定下目標,到2022年,廣州市爭取納入國家集成電路重大生產力布局規劃,建設國內先進的晶圓生產線,引進一批、培育一批、壯大一批集成電路設計、封裝、測試、分析以及深耕智能傳感器系統方案的企業,爭取打造出千億級的集成電路產業集群,建成全國集成電路產業集聚區、人才匯聚地、創新示范區。
目前,廣州擁有安凱、昂寶、潤芯、慧智、廣芯微、高云半導體、泰斗微電子等一批集成電路設計企業,以及晶科電子、風華芯電、興森快捷、安捷利等一批封裝測試企業,粵芯半導體項目的建成則填補芯片制造空白,至此,廣州已初步構建完成“芯片設計、晶圓制造、封裝測試、終端應用”較為完整的半導體產業鏈。