| 射頻等離子工藝設(shè)備中的自動阻抗匹配技術(shù) | |
| 所屬分類：技術(shù)論文 | |
| 上傳者：aetmagazine | |
| 文檔大小：462 K | |
| 標簽： 等離子 自動阻抗匹配 射頻 | |
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| 文檔介紹：介紹了射頻阻抗匹配的基本原理和常見的匹配網(wǎng)絡(luò)類型，以串并聯(lián)電容組成的Г型匹配網(wǎng)絡(luò)為例，利用史密斯圓圖，闡述了阻抗匹配的工作原理。介紹射頻等離子技術(shù)在微電子工藝設(shè)備中的應(yīng)用。給出了自動匹配網(wǎng)絡(luò)的檢測電路、電機驅(qū)動電路和控制電路，提出了優(yōu)化自動阻抗匹配能力的方法。 | |
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