《電子技術(shù)應(yīng)用》
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埃賽力達(dá)推出首款適用于340 nm-360 nm波長范圍的

LINOS UV F-Theta Ronar低釋氣鏡頭
2024-06-03
來源:Excelitas Technologies

  新上市的UV F-Theta鏡頭采用優(yōu)化的低釋氣不銹鋼設(shè)計(jì),適用于UV紫外激光材料加工應(yīng)用。

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  以市場為導(dǎo)向的創(chuàng)新光電解決方案工業(yè)技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者——埃賽力達(dá)科技有限公司(Excelitas Technologies? Corp.)近期宣布推出適用于340 nm-360 nm波長范圍的LINOS? UV F-Theta Ronar低釋氣鏡頭。作為市場上首款采用低釋氣和不銹鋼設(shè)計(jì)的可現(xiàn)貨供應(yīng)的UV F-Theta鏡頭,該新鏡頭比傳統(tǒng)產(chǎn)品具有更強(qiáng)的耐用性,可處理更高的UV脈沖能量和超短激光脈沖,適用于半導(dǎo)體、晶片加工和電子顯示行業(yè)中的激光材料加工應(yīng)用。

  這款低釋氣UV鏡頭采用獨(dú)特的紫外線結(jié)構(gòu),包括高級熔融石英透鏡材料和不銹鋼外殼,并結(jié)合高端寬帶透鏡涂層,以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的光學(xué)性能。此外,鏡頭的設(shè)計(jì)還優(yōu)化并最大限度地減少了背向反射,以避免損壞掃描鏡。鏡頭的封裝和防塵蓋材料也實(shí)現(xiàn)了低釋氣性能。

  其主要產(chǎn)品特性包括:

  • 低釋氣設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和裝配最大程度地減少了精密紫外線工藝中的污染,同時(shí)由于減少了鏡片中的污染物從而延長了使用壽命。

  • 可用于高端紫光激光應(yīng)用,如半導(dǎo)體制造、平板顯示器和太陽能電池制造。

  • 針對340 nm-360 nm的UV波長和高端寬帶涂層進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì),適用于各種類型的激光器,包括盤式激光器、光纖激光器和DSSP激光器,以及晶圓切割、退火和太陽能電池加工應(yīng)用。

  • 能夠處理更高功率(高達(dá)100W)和短脈沖(≥500飛秒),從而可實(shí)現(xiàn)冷激光加工并最大限度地減少熱影響區(qū)(HAZ),提高激光加工精度。

  • 先進(jìn)的生產(chǎn)工藝確保最少的釋氣和長期的光學(xué)穩(wěn)定性。

  • 優(yōu)化的背反射技術(shù)最大程度地減少了對掃描鏡的損壞并延長了使用壽命。

  “我們很高興推出波長范圍為340 nm-360 nm的低釋氣UV F-Theta Ronar鏡頭,這是我們用于激光材料加工的LINOS F-Theta-Ronar鏡頭產(chǎn)品線的最新成員。¨埃賽力達(dá)應(yīng)用工程師Matthias Koppitz說道:”除了鏡框材料具有出色的耐用性之外,我們還大大減少了輔助材料并改進(jìn)了潔凈裝配工藝,使得該鏡頭成為各種紫外激光應(yīng)用的理想選擇。¨

  用于340 nm-360 nm波長范圍的LINOS UV F-Theta Ronar低釋氣鏡頭可與適用于同樣波長范圍的低釋氣1x-4x的LINOS UV擴(kuò)束鏡完美匹配。對于無需減少釋氣的應(yīng)用,該新品還可提供成本優(yōu)化的無色鋁制版本。




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