0　引言

    流量檢測(cè)是工業(yè)自動(dòng)化檢測(cè)中的一個(gè)重要指標(biāo)，與溫度、壓力并稱為熱工計(jì)量的三大重要參數(shù)^[1]。流量計(jì)作為流量檢測(cè)的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量器具，在于流體相關(guān)的工業(yè)控制中起到重要作用。傳統(tǒng)的流量計(jì)大多為機(jī)械式流量計(jì)，機(jī)械部件占據(jù)主體部分，流體流經(jīng)流量計(jì)時(shí)，流量計(jì)借助機(jī)械部件的轉(zhuǎn)動(dòng)完成流量計(jì)量。因此，機(jī)械式流量計(jì)普遍存在始動(dòng)流量高、壓力損耗大、需要人工抄表的問題。隨著超聲波檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了利用超聲波完成流量測(cè)量的超聲波水流量計(jì)。超聲波流量計(jì)內(nèi)部采用全電子結(jié)構(gòu)，無阻流部件，相較于傳統(tǒng)機(jī)械式流量計(jì)具有非接觸式、無機(jī)械化部件、測(cè)量靈敏度高、受環(huán)境影響較小等優(yōu)點(diǎn)^[2]。因此，基于超聲波檢測(cè)技術(shù)的流量計(jì)逐漸成為熱門研究領(lǐng)域。研究人員從超聲波測(cè)量原理、傳播時(shí)間計(jì)算方法和流量計(jì)設(shè)計(jì)等各個(gè)方面開展研究。涂曉立等人采用多普勒法研制了一種超聲波多普勒流量計(jì)，并對(duì)流量計(jì)的性能進(jìn)行了測(cè)試^[3]；王安然等人對(duì)超聲時(shí)差法的傳播時(shí)間測(cè)量進(jìn)行分析，提出了一種基于電容積分的間接傳播時(shí)間測(cè)量方法^[4]；胡海霞采用高精度計(jì)時(shí)芯片TDC-GP22設(shè)計(jì)了一款運(yùn)用于小口徑管道的超聲波計(jì)量模塊^[5]。

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作者信息：

劉偉，秦會(huì)斌

（杭州電子科技大學(xué) 新型電子器件與應(yīng)用研究所，浙江 杭州 310018）