近日，華中科技大學(xué)機(jī)械學(xué)院劉世元教授團(tuán)隊成功研發(fā)出我國首款完全自主可控的OPC軟件，并已在相關(guān)企業(yè)實現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，填補了國內(nèi)空白。
劉世元介紹，光刻是芯片制造中最為關(guān)鍵的一種工藝，就是通過光刻成像系統(tǒng)，將設(shè)計好的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上。隨著芯片尺寸不斷縮小，硅片上的曝光圖形會產(chǎn)生畸變。
在90nm甚至180nm以下芯片的光刻制造前，都必須采用一類名為OPC（光學(xué)臨近校正）的算法軟件進(jìn)行優(yōu)化。沒有OPC，所有IC制造廠商將失去將芯片設(shè)計轉(zhuǎn)化為芯片產(chǎn)品的能力。
目前，全球OPC工具軟件市場完全由Synopsys、Mentor、ASML-Brion等三家美國公司占領(lǐng)。
劉世元是華中科技大學(xué)集成電路測量裝備研究中心、光谷實驗室集成電路測量檢測技術(shù)創(chuàng)新中心主任。
研制的儀器、軟件、測量裝備等多項成果已實現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，在中芯國際、長江存儲、華為、京東方、華星光電等微電子、光電子龍頭企業(yè)獲得批量應(yīng)用。
更多信息可以來這里獲取==>>電子技術(shù)應(yīng)用-AET<<
本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外，轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點。轉(zhuǎn)載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無法一一聯(lián)系確認(rèn)版權(quán)者。如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)和其它問題，請及時通過電子郵件或電話通知我們，以便迅速采取適當(dāng)措施，避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失。聯(lián)系電話：010-82306118；郵箱：aet@chinaaet.com。