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上海微電子舉行首臺2.5D/3D先進封裝光刻機發運儀式

2022-02-07
來源:中國證券網

   上證報中國證券網訊(記者 李興彩)2月7日,上海微電子裝備(集團)股份有限公司(SMEE)舉行首臺2.5D/3D先進封裝光刻機發運儀式,向客戶正式交付先進封裝光刻機。

  

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    上海微電子官網顯示,2021年9月18日,公司舉行新產品發布會,宣布推出新一代大視場高分辨率先進封裝光刻機。上海微電子介紹,其此次推出的新品光刻機主要應用于高密度異構集成領域,具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光視場等特點,可幫助晶圓級先進封裝企業實現多芯片高密度互連封裝技術的應用,滿足異構集成超大芯片封裝尺寸的應用需求。同時,將助力封裝測試廠商提升工藝水平、開拓新的工藝,在封裝測試領域共同為中國集成電路產業發展做出更多的貢獻。




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