《電子技術(shù)應(yīng)用》
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上海微電子舉行首臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)發(fā)運(yùn)儀式

2022-02-07
來源:中國證券網(wǎng)
關(guān)鍵詞: 上海微電子 3D 封裝 光刻機(jī)

   上證報(bào)中國證券網(wǎng)訊(記者 李興彩)2月7日,上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司(SMEE)舉行首臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)發(fā)運(yùn)儀式,向客戶正式交付先進(jìn)封裝光刻機(jī)。

  

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    上海微電子官網(wǎng)顯示,2021年9月18日,公司舉行新產(chǎn)品發(fā)布會(huì),宣布推出新一代大視場高分辨率先進(jìn)封裝光刻機(jī)。上海微電子介紹,其此次推出的新品光刻機(jī)主要應(yīng)用于高密度異構(gòu)集成領(lǐng)域,具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光視場等特點(diǎn),可幫助晶圓級先進(jìn)封裝企業(yè)實(shí)現(xiàn)多芯片高密度互連封裝技術(shù)的應(yīng)用,滿足異構(gòu)集成超大芯片封裝尺寸的應(yīng)用需求。同時(shí),將助力封裝測試廠商提升工藝水平、開拓新的工藝,在封裝測試領(lǐng)域共同為中國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出更多的貢獻(xiàn)。




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