近日，國內半導體企業與ASML的合作接連傳來好消息。繼近日晶瑞股份成功ASML XT 1900 Gi型光刻機之后，國內第三代半導體企業英諾賽科亦與ASML簽署了購買協議。

　　2021年1月21日，英諾賽科和ASML達成批量購買高產能i-line和KrF光刻機的協議，用于制造先進的硅基氮化鎵功率器件。

　　資料顯示，英諾賽科科技有限公司成立于2015年12月，是一家致力于第三代半導體硅基氮化鎵芯片制造的企業。公司成功建成投產全球首條200mm硅基氮化鎵晶圓與功率器件量產生產線，主要產品包括200mm硅基氮化鎵晶圓及30V-650V氮化鎵功率器件。英諾賽科產品的設計與性能均達到國際最先進水平，并已廣泛應用于PD快充、立體（3D）相機、移動電子設備（包括智能手機、筆記本電腦、平板電腦）等領域。

　　ASML是全球芯片制造設備領導廠商，其生產的XT400和XT860的i-line和KrF經過升級，能夠在硅基晶圓上制造氮化鎵功率器件。據悉，ASML的i-line和KrF光刻機能提供最卓越的性能、市場上最高的生產效率以及最低的成本。雙工件臺技術架構已經成為全球300mm和200mm晶圓量產生產線中的先進光刻技術代表 。

　　英諾賽科將在今年第二季度搬入首批光刻機，這是第三代半導體領域首次量產應用先進的ASML TWINSCAN（雙工件臺）光刻技術，這一實施標志著第三代半導體制造技術正式進入了一個全新的紀元。

　　英諾賽科CEO孫在亨表示，作為一家致力于推動第三代半導體創新革命的企業，我們需要與像ASML這樣全球半導體領軍的企業合作，采用更加先進的制造工藝，實現更加高的性能、良率和產出，在快速成長的各種應用領域（例如快充、TOF相機（Time-of-Flight Camera） 、智能手機、電動車、數據中心等）共同推出最先進的解決方案以及下個世代的氮化鎵器件。

　　ASML全球副總裁，中國區總裁沈波指出，第三代半導體在全球市場有廣闊的應用前景，阿斯麥會全力提供光刻解決方案和服務，支持英諾賽科在這一領域的發展。