11月17日消息，韓國知識產權局（KIPO）公布的統計數據顯示，2011－2020年,韓國EUV光刻專利2014年有88項，2018年有55項，2019年則為50項。
據報道，以三星為代表的韓國企業通過不斷的在研究開發方面投入，在EUV光刻技術上不斷縮小與行業領先企業之間的差距。近期，三星正式推出的Exynos1080芯片，背后就有對EUV光刻機技術突破的因素。
Exynos1080芯片是三星首款基于5nm工藝制造的手機SoC芯片。
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