近日，黎明化工承擔的國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”中的“高純四氟化碳和六氟化硫研發與中試”子項目，通過了國家重大專項項目組的現場測試與評審，相關產品已提交客戶使用。

    國產替代進口的歷史性機遇

    近日，美國半導體設備企業發函，禁止中方將采購的設備作為軍用，并可無限追溯。 跡象顯示，美國對中國高新技術尤其是半導體產業的管控繼續收緊。同時也意味著，大力發展自主的配套產業，助力中國半導體產業突圍，更加迫在眉睫。

    電子特種氣體（簡稱電子特氣），是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。在整個半導體行業的生產過程中，從芯片生長到最后器件的封裝，幾乎每一個環節都離不開電子特氣，而且所用氣體的品種多、質量要求高，所以電子氣體又有半導體材料的“糧食”之稱。在多個國際貿易糾紛及產業逆全球化的大背景下，中國電子氣體國產化將是重要一環。

    黎明化工黎明院開發的高純度含氟電子氣體四氟化碳和六氟化硫產品，能夠滿足極大規模集成電路行業所需的高純度氣體需求，也標志著極大規模集成電路行業用高純度四氟化碳和六氟化硫電子氣體實現了國產化。目前，高純度四氟化碳和六氟化硫已被批量使用，實現了部分進口替代。

    本土化率低 國產化市場空間大

    全球范圍來看，隨著全球半導體市場規模在2018年的高增長，全球集成電路用電子氣體的市場規模達到45．1億美元，市場規模較上年同比增加了15．9％，國內范圍來看，2018年，我國電子氣體市場規模達到了121．6億元，較上年同比增加了11．2％，2013－2018年的增速達13．3％。隨著中國電子行業的迅猛發展，我國的電子氣體國產化生產和市場占有率也在不斷突破，但與國外仍有一定差距。半導體制程過程中用到的83種電子氣體，其中有35％已經實現本土化，還有35％正在本土化，30％還未進行本土化。

    其中，全球電子氣體市場中含氟系列電子氣體約占其總量的30％左右，我國能夠自主且規模化生產CF4、CHF3、CH2F2、CH3F、C2F6、SF6、NF3、BF3、COF2等含氟電子氣體，但是國產含氟電子氣體難以得到下游應用企業的認可。

    國內半導體行業所用的含氟電子氣體90％以上是由外國獨資或合資企業提供，美國空氣化工、法國液空集團、德國林德等氣體行業的巨頭在國內都建立了多家合資公司，開發新型、安全、環保的含氟電子氣體已成為近年來國內外研究和產業化熱點。

    含氟電子氣體前景廣闊 大勢所趨

    隨著人們對電子產品的需求迅速增加，電子行業獲得了空前的發展，高純、超高純的含氟電子氣體的市場需求量也急劇增長。無疑作為原材料的特種氣體存在很大的發展空間。

    由于特種電子氣體行業投資大，尤其是含氟電子氣體生產商須具有雄厚的資金實力和研發能力。因此，我國含氟電子氣體發展水平與世界先進水平存在一定的差距，主要的原因是國內含氟電子氣體品種不齊全，研究和生產的相關技術和配套還不夠完善。

    隨著《中國制造 2025》的提出，集成電路被放在發展新一代信息技術產業的首位，在超凈、高純原材料的發展布局上，強化整條產業鏈的深度融合，擺脫核心環節受控于人的局面，是確保集成電路產業未來自主可控發展的重要前提。因此，作為集成電路產業關鍵材料的含氟電子氣體發展前景廣闊，國產化也是大勢所趨。