近日，全球領先的半導體制造設備及服務供應商泛林集團宣布其自維護設備創下半導體行業工藝流程生產率的新標桿。通過與領先半導體制造商合作，泛林集團成功實現了刻蝕工藝平臺全年無間斷運行。

　　在當今半導體工藝環境中，平均清洗間隔時間是限制刻蝕系統生產率提高的主要因素。為了保持穩定的性能，通常需要每月、甚至每周清洗刻蝕工藝腔室，并更換被等離子體工藝腐蝕的部件。2019 年 4 月，泛林集團與客戶攜手達成了一項宏偉目標，實現設備在無需維護清洗的情況下連續運行 365 天，創下里程碑式紀錄。

泛林集團自維護設備創生產率新紀錄

　　泛林集團刻蝕產品事業部高級副總裁兼總經理 Vahid Vahedi 表示：“這一突破性成就彰顯了泛林集團專注客戶合作，幫助客戶解決最具挑戰性的技術和生產率問題。泛林集團致力于提供符合工業 4.0的技術，使芯片制造企業的生產過程更快速、更準確、更高效。這一新的行業標桿印證了自維護設備可以減少人工勞動，提高生產效率。”

　　通常，刻蝕工藝模塊需要定期維護并更換耗件。更換和清洗部件必須打開腔室完成，在關閉腔室時需要重新驗證腔室環境，既耗時又費力，不但影響了產量，還需依靠復雜的調度安排。利用自維護解決方案，設備可自主決策需要更換部件的時間，且無需打開腔室即可自動更換，減少了設備的停機時間，提高了工廠的生產效率。

　　泛林集團這一創新解決方案包括Kiyo^?工藝模塊、采用真空傳輸可更換邊緣環的Corvus^? R系統、擁有使用壽命更長的腔室組件、以及經過優化的無晶圓自動清洗技術。其中，實現這一空前生產率的關鍵在于Corvus R系統，它是業界首個可自動更換耗件的系統。長期以來，刻蝕工藝一直存在邊緣環腐蝕的問題，需要頻繁打開腔室更換部件。Corvus R無需打開腔室，即可自動更換新的邊緣環。

　　這一技術是泛林集團Equipment Intelligence? 解決方案的一部分。該解決方案集成了關鍵元件，并可創建自感知、自維護和自適應的設備與工藝。此外，Equipment Intelligence解決方案整合了機器學習、人工智能和自動化、自感知的硬件與工藝，有望提高生產效率，改善產品性能，加速行業創新。