中國半導體產業研發機構上海集成電路研發中心21日宣布與國際光刻巨頭ASML簽訂合作備忘錄（MoU），將在上海合作共建一個半導體光刻人才培訓中心。這也將為未來中國半導體行業挺進先進工藝制程做進一步鋪路與技術人才培養與準備。

根據MoU雙方計劃將研發中心現有的潔凈室設施與教室作為培訓中心，而配套的光刻及測量設備則由ASML提供。阿斯麥還將派出經驗豐富的光刻工程師參與授課。通過此次雙方合作，增強客戶的光刻專業工程師技能。

雙方培訓中心的選址于上海是基于以下幾個層面的考慮：一是上海是集成電路制造的群聚地；上海的運營成本也符合雙方的預期；另外，上海當地合作伙伴眾多，地方政府同時也提供了強有力的集成電路產業扶持政策與其他相關的政策支持。

上海集成電路研發中心董事長兼首席執行官趙宇航則在簽署儀式上表示，未來培訓中心將擁有ASML多款光刻設備和檢測設備，也將逐步對國內半導體行業企業內的光刻工程師開放，這大大提高中國集成電路產業在高端和專業技術人才方面的培養力度。

集成電路產業將在中國迅速發展，對熟悉設備工藝、訓練有素的人才的需求也將變得越來越迫切。

ASML公司總裁暨首席執行官Peter Wennink表示，雙方成立的培訓中心提供完善的軟、硬件環境，提升光刻技能與專業知識，這是中國半導體持續保持增長不可或缺的一個重要環節。

出席雙方MoU的簽約儀式人員包括：上海市經濟信息工作黨委書記陸曉春、上海市集成電路行業協會會長、華虹集團董事長張素心、上海市經濟和信息化委員會副主任傅新華、上海華力微電子有限公司總裁雷海波等重要人士。

2017年三月上海微電子裝備（集團）SMEE與ASML才簽署戰略合作備忘錄（MoU）。SMEE將探索就ASML光刻系統的特定模塊或半導體行業相關產品進行采購的可能性。