0 引言

    三維疊層封裝是近年來新興的一種集成電路封裝技術，通過堆疊、灌封、切割、表面金屬化等工藝過程，在單個封裝體內堆疊多個封裝芯片或裸芯片，突破了傳統平面封裝的概念，能夠實現更大功能密度的MCM(Multi Chip Module)模塊產品，特別適用于DRAM、SRAM、EEPROM、Nand Flash、Nor Flash等存儲器類型產品的立體封裝，可以有效降低航空、航天電子信息存儲系統的體積和重量。

    大容量存儲器是航天電子系統關鍵元器件，用于各種空間試驗或探測數據的采集、存儲以及在軌數據處理。三維疊層存儲器將多片存儲器芯片堆疊組合在一起，其功能密度較高，測試難度較大，一方面，因三維疊層存儲器單個外引腳連接多個內部芯片引腳，一個或者多個引腳開路無法及時發現；另一方面，在進行高、低溫測試時，無法準確監測模塊內部芯片的實際溫度。

    在GJB2438A-2002混合集成電路通用規范里面，規定了電路需進行高、低溫測試，但未規定具體的測試試驗方法。一般來說，進行電路高、低溫測試有兩種方法，一是利用氣流罩為電路提供穩定的溫度環境，氣流罩升、降溫速率較高，提供溫度穩定，缺點是容積較小，一次一般只能測試一只電路，測試效率較低；二是設定高、低溫箱溫度比要求溫度嚴格，將待測電路放置在高、低溫箱中保溫一定時間，待溫度穩定后，從溫箱中取出，迅速進行測試，該方法比較適合較小批量的存儲器測試，主要缺點是電路暴露在室溫中的時間與操作相關，不能精確控制操作時間，導致實際測試狀態的溫度與要求溫度可能存在較大偏差。

    為了保證電路實際測試溫度滿足規范的要求，在采用第二種方案進行高、低溫測試時，需要對電路的實際溫度進行監測。無論是紅外測溫、點式溫度計測溫方法均是測量測試板或模塊外部的溫度，不能獲得內部芯片的實際溫度。

    本文針對存儲器的特點，對存儲器端口寄生二極管結構進行分析，提出了一種通過ATE測試機接觸測試方法，測試存儲器端口并聯二極管正向壓降，通過分析二極管正向壓降與溫度的關系，從而得出模塊內部芯片實際溫度并有效識別并聯二極管一個或多個端口開路的故障模式。根據ATE設備通/短路設計原理進行試驗驗證，證明了該方法行之有效，幾乎不增加測試成本，可以用來進行三維存儲器模塊的測試和修正，并且本方法也可用于SoC、SiP等復雜結構電路的測試。

1 引腳寄生二極管的正向導通壓降

    存儲器等集成電路芯片是靜電敏感器件，芯片對外引腳端均有ESD保護電路，一般由二極管構成，可提供靜電泄放路徑，如圖1所示。這個結構不僅用來進行ESD保護，也可以用來進行電路連通性測試，并能根據PN結正向壓降監測芯片的實時溫度。

1.1 單個二極管正向導通壓降與溫度的關系

    根據Shockely的PN結方程^[1]，PN結兩端的電壓V和流過PN結的電流I之間的關系為式(1)。

式中，I_s為反向飽和電流，k為玻耳茲曼常數，T為熱力學溫度，q為電子電量，n為理想因子。

    對于I>>I_s，硅材料取n=1，式(1)改寫為：

    反向飽和電流I_s是一個溫度相關函數^[2]，可以近似為式(3)。

其中，K、r、V_g0是與溫度無關的常數，K表示PN結幾何尺寸的因子，r表示基極少數載流子的移動性，V_g0表示在絕對0 ℃下的材料能帶寬度。

    由式(2)、式(3)可以推出PN結兩端正向壓降V與溫度T、電流I的關系式(4)。

    其中rlnT較小，可忽略不計，式(4)表明在-55 ℃(218 K)到125 ℃(398 K)的模塊工作溫度范圍內，對于給定的電流，二極管PN結正向壓降與溫度基本上是一個線性關系，可以通過式(5)計算出PN結的溫度。其中，V₁、V₂分別是溫度T下給定電流I₁、I₂對應的PN結壓降。

1.2 并聯結構二極管正向導通壓降與并聯數量的關系

    三維疊層存儲器將多片芯片封裝在一個模塊中，單個外引腳會連接多個內部芯片引腳，因此多個ESD保護二極管形成并聯結構，如圖2所示。

    相同結構的二極管電流導通能力相同，根據式(2)，對于N個并聯的二極管的PN結兩端的壓降V_N和流過PN結的總電流I_N之間的關系為式(6)、式(7)。

    從上式可以看出，對于N個并聯的PN結，正向導通壓降與溫度仍然保持近似線性關系。與單個PN結相比，并聯的PN結正向導通壓降要降低kT/q·lnN，其中KT/q為溫度電壓當量，在T=300 K時，KT/q≈26 mV。

    根據式(7)，可以通過對外引腳提供恒定的電流，測量寄生二極管的正向壓降以監測內部芯片溫度，并且可以通過比較正向壓降的大小來定位三維疊層存儲器模塊引腳是否出現了開路失效，也就是可以利用ATE測試設備的接觸測試來進行存儲器模塊的故障模式定位和溫度監測。

2 ATE接觸測試方法

    接觸測試是一種DC直流測試方法，利用芯片引腳寄生ESD保護二極管來檢測引腳間是否存在開路或短路的情況。接觸測試方法如圖3所示，將芯片所有引腳接GND，通過將信號引腳定義為輸入，輸入VIL=0 V，將所有電源引腳(VDD、VSS)也連接到GND，利用動態電流負載為VDD保護二極管提供400 ?滋A偏置電流，負載參考電壓設定在+3 V。

    接觸測試時分別對每個引腳進行如下測試。時序圖圖4表示的是1 MHz的測試周期，周期起始階段關閉DUT的引腳驅動，打開電流負載，900 ns后二極管的正向壓降穩定后進行檢測。如果接觸正常，壓降在0.65 V左右；如果存在短路，DUT引腳電壓會被拉到0 V；如果存在開路，DUT引腳電壓會被拉到3 V。設定短路失效門限為0.2 V，開路失效門限為1.5 V，可通過測試壓降判斷引腳是否存在開路或短路失效。

3 試驗驗證與分析

    為了驗證上述理論的有效性，利用ATE測試機的接觸測試方法，在不同溫度下，對不同并聯數量的三維疊層存儲器模塊引腳導通壓降進行測試，得出測試結果如圖5所示。

    從圖5中，可以看出單個引腳的二極管正向導通壓降與溫度成線性關系，且隨著溫度的增加而降低；多個引腳并聯的二極管正向導通壓降與溫度亦為線性關系，且并聯引腳數量越多，導通壓降越小；此結論與理論分析一致。

    此外，若模塊并聯的引腳中有一個或多個引腳存在開路失效現象，則可通過比較相同功能端的二極管導通壓降有效識別該現象，如圖6所示，三維疊層存儲器模塊地址端A0-A12中，A3地址端有一個并聯引腳開路，則其導通壓降明顯大于其余同功能地址端，此試驗結果與理論分析一致。

4 結語

    本文通過理論分析與試驗驗證，得出存儲器端口寄生二極管正向導通壓降與溫度之間的線性關系，并隨著并聯二極管數量的增加，導通壓降減小，利用該結論，可有效地進行三維疊層存儲器內部芯片的溫度監測以及開路故障分析，該方法可以用于三維存儲器模塊的測試和修正，測試成本低，有效提升三維存儲器模塊的測試效率。

參考文獻

[1] SZE S M.Physics of semiconductor devices，2nd Edition，John Wiley & Sons，New York，1981.

[2] SHAUKATULLAH H.A method of using thermal test chips with diodes for thermal characterization of electronic packages without calibration，Eleventh IEEE Semi-Therm Symposium，1995.

[3] SHARMA A K.先進半導體存儲器[M].曾瑩等，譯.北京：電子工業出版社，2001.

作者信息:

李夢琳，鄭東飛

(西安微電子技術研究所，陜西 西安710054)