《電子技術應用》
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新型功能材料成功集成至硅芯片

2016-07-25

  美國北卡羅來納州立大學21日發布新聞公報稱,該校研究人員與美國陸軍研究辦公室合作開發出一種新方法,可將多鐵性材料等新型功能材料集成至計算機芯片上。這一方法將有助于未來制造出更輕巧、智能的電子設備和系統。

  一些新型功能材料,如具有鐵電和鐵磁性質的多鐵性材料、表面有導電性能的拓撲絕緣體及新型鐵電材料等,在傳感器、非易失性存儲器及微機電領域有很好的應用前景。但這些材料目前面臨的一個難題是,至今它們都不能被集成到硅芯片上。

  此次,美國研究人員開發出一種被稱為“薄膜外延法”的新方法。他們設計了兩種可與硅兼容的板層——氮化鈦板層和釔穩定氧化鋯板層,作為連接新功能材料與不同電子產品硅芯片的底層基質(平臺),然后利用其開發的一套緩沖薄膜,將功能材料與硅芯片集成在一起。這些薄膜一面與新型功能材料的晶體結構結合,另一面與底層基質結合,從而起到有效的連接作用。研究人員稱,集成的功能材料不同,所使用的薄膜組合也不同。比如,集成多鐵性材料會使用氮化鈦、氧化鎂、氧化鍶和鑭鍶錳氧化物這4種類型的薄膜組合;而集成拓撲絕緣體則僅會使用氧化鎂和氮化鈦兩種薄膜。

  研究人員表示,將新型功能材料與硅芯片集成,會使很多過去認為不可能的事成為可能。如僅用一個緊湊的芯片即可完成數據探測、采集、處理任務,這有助于設計出更高效、輕巧的設備。此外,有了這一方法,還可克服目前發光二極管(LED)所用藍寶石襯底無法與計算機設備兼容的難題,在芯片上創建LED,設計出“智能燈”。

  新聞公報中稱,研究人員已為此項集成技術申請了專利。相關研究成果刊發在《應用物理評論》期刊上。

  硅芯片制造工藝正逼近物理極限,為滿足摩爾定律增長要求,要么尋找全新材料替代硅——石墨烯、二硫化鉬或者單原子層鍺,要么創新方法來拓展硅芯片的能力——將更符合要求的新材料高效集成在硅襯底上。相較而言,完全替代原有技術路線,不僅需要大量資金投入,產業充分競爭和協作也必不可少;在成熟技術上深部挖潛,成本雖然低很多,卻難以帶來翻天覆地的全新業態。好在科技進步不同于政治更迭,革命派和改良派都值得充分尊重。


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