集成電路檢測(cè)器 ICS 105 同 ICR 型號(hào)的近場(chǎng)微探頭組合使用，可對(duì)集成電路（ICS 105 GND 組套）和小型組件（ICS 105 UH 組套）進(jìn)行高頻近場(chǎng)測(cè)量。通過(guò)對(duì)集成電路的近場(chǎng)分析，能夠在高頻環(huán)境下對(duì)集成電路的內(nèi)部過(guò)程有準(zhǔn)確了解。集成電路的干擾發(fā)射問(wèn)題將通過(guò)測(cè)量予以分析，找出集成電路中產(chǎn)生干擾發(fā)射的部位。

圖 1 近場(chǎng)微探頭 ICRHH 150-27 是一款帶有水平測(cè)量線圈的探頭，用于磁場(chǎng)測(cè)量。測(cè)量分辨率為   50 μm，測(cè)量范圍為 1.5 GHz 至 6 GHz。

    除了朗格爾電磁兼容技術(shù)有限公司的 ICR 型號(hào)近場(chǎng)微探頭之外，還可借助探頭支架 SH 01 將手持式探頭或場(chǎng)源置入到 ICS 105 之中（圖 2）。

    使用不同的 ICR 近場(chǎng)微探頭，可在 (50x50x50) mm 的空間范圍內(nèi)分別對(duì)磁場(chǎng)或電場(chǎng)進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量結(jié)果通過(guò)軟件 CS-Scanner 在電腦上顯示。此外，ICR 近場(chǎng)微探頭可通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸自動(dòng)旋轉(zhuǎn) 360°，以確定磁場(chǎng)的確切方向。借助視頻顯微鏡，可方便近場(chǎng)微探頭在測(cè)量目標(biāo)上的精確定位。ICS 105 檢測(cè)器的最小步進(jìn)值為 10μm，可實(shí)現(xiàn)極高分辨率的測(cè)量（圖 1）。

    ICR 型近場(chǎng)微探頭適用于 1.5 MHz 至 6 GHz 頻率范圍內(nèi)的測(cè)量，可達(dá)到的測(cè)量分辨率約為 50μm。用于磁場(chǎng)測(cè)量的近場(chǎng)微探頭可提供兩種不同的基本規(guī)格。ICR HV 近場(chǎng)微探頭帶有垂直測(cè)量線圈，ICR HH 近場(chǎng)微探頭帶有水平測(cè)量線圈。ICR E 近場(chǎng)微探頭的探針頭包括一個(gè)水平電極，用于電場(chǎng)測(cè)量。

    不同類型的近場(chǎng)微探頭配置齊全，確保在完成各類眾多實(shí)際測(cè)量任務(wù)時(shí)能夠選取最佳的探頭型號(hào)。

使用近場(chǎng)微探頭可以進(jìn)行下列測(cè)量：

    - 根據(jù)標(biāo)準(zhǔn) IEC61967-3 進(jìn)行集成電路表面掃描

    - 集成電路容量掃描

    - 針腳掃描

在測(cè)量過(guò)程中，只在相應(yīng)測(cè)量目標(biāo)上方移動(dòng)數(shù)個(gè) μm，確保精準(zhǔn)的近場(chǎng)數(shù)據(jù)采集。近場(chǎng)微探頭的外殼中內(nèi)置前置放大器，通過(guò) Bias-Tee 偏置器供電。

圖 2 ICS 105 是一款桌上設(shè)備。緊湊的尺寸（350 x   400 x 420）mm和輕巧的重量（23 kg）令其能夠方便安放在開發(fā)人員的工作臺(tái)上。

    集成電路檢測(cè)器 ICS 105 通過(guò) USB 接口連接至電腦，通過(guò)朗格爾電磁兼容技術(shù)有限公司的軟件 ChipScan-Scanner（CS-Scanner，芯片掃描器）進(jìn)行控制（圖 3）。可以通過(guò)軟件控制實(shí)現(xiàn)近場(chǎng)微探頭的移動(dòng)以及復(fù)雜測(cè)量流程的編程。

圖 3 測(cè)量時(shí) ICS 105 同頻譜分析儀和電腦相連。通過(guò)測(cè)量與分析軟件   CS-Scanner 對(duì) ICS 105 進(jìn)行控制，對(duì)測(cè)量結(jié)果予以記錄。

    由朗格爾電磁兼容技術(shù)有限公司研制的軟件 CS-Scanner 可實(shí)現(xiàn)對(duì)頻譜分析儀中的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行讀出、進(jìn)行圖像顯示（2D 或 3D，圖 4）、對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)的保存和輸出（CSV 文件格式）。頻譜分析儀上的最重要設(shè)置也可通過(guò)軟件進(jìn)行（圖 5 ）。

圖 4 軟件 ChipScan-Scanner 生成 3D 容積掃描

圖 5 軟件 CS-Scanner 的操作界面。右側(cè)為用于所連接頻譜分析儀的操作面板。左上方為測(cè)量圖表和跟蹤管理器，對(duì)所有已進(jìn)行的測(cè)量予以記錄。

輔以控制與分析軟件 ChipScan-Scanner 的集成電路檢測(cè)器 ICS 105

    - 通過(guò)電腦/筆記本進(jìn)行控制

    - 零點(diǎn)位置、近場(chǎng)微探頭手動(dòng)或基于腳本的移動(dòng)

    - 從頻譜分析儀中讀出數(shù)據(jù)

    - 測(cè)量數(shù)據(jù)的 2D 或 3D 圖形顯示

    - 輸出成 csv 文件或圖形文件

    - 在集成電路上進(jìn)行的自動(dòng)測(cè)量：

    - 根據(jù)標(biāo)準(zhǔn) IEC61967-3 進(jìn)行集成電路表面掃描

    - 集成電路容量掃描

    - 針腳掃描