在法國(guó)東南部阿爾卑斯山腳下的格勒諾布爾市(Grenoble)及附近地區(qū)，因?yàn)樵搮^(qū)域內(nèi)有CEA-LETI研究院、ST微電子研發(fā)中心等多家頂級(jí)微電子研究機(jī)構(gòu)和多所大學(xué)，近年成為了歐洲半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的新科技中心，同時(shí)許多新創(chuàng)公司在該地區(qū)成立并取得發(fā)展，因而被稱為歐洲硅谷。位于此間專注于化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）和工業(yè)視覺的Alpsitec有限公司不久前喜獲中國(guó)河北工業(yè)大學(xué)訂單，在該地區(qū)中小半導(dǎo)體企業(yè)中掀起了一次“中國(guó)潮”。
Alpsitec SAS于2001年由德國(guó)STEAG電子系統(tǒng)公司的CMP設(shè)備業(yè)務(wù)部通過管理層收購(gòu)轉(zhuǎn)換而來，公司的聯(lián)合創(chuàng)始人包括今天仍然擔(dān)任公司總裁的Marc Peltier先生，以及Fabrice Delebarre先生。Alpsitec專注于半導(dǎo)體制造業(yè)中的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備,以及以服務(wù)為中心的工業(yè)視覺設(shè)備。
高度客戶定制化是Alpsitec產(chǎn)品的主要特點(diǎn)。其工業(yè)視覺設(shè)備主要通過為客戶定制識(shí)別系統(tǒng)，為客戶的自動(dòng)化系統(tǒng)提供2D和3D的視覺識(shí)別。而讓Alpsitec名聲鵲起的是其專為微電子產(chǎn)業(yè)的研究開發(fā)活動(dòng)設(shè)計(jì)的CMP系統(tǒng)，目前在全球微電子產(chǎn)業(yè)已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用，并獲得了良好的贊譽(yù)。
在從德國(guó)工業(yè)巨頭STEAG收購(gòu)了相關(guān)的技術(shù)和產(chǎn)品設(shè)計(jì)之后， Alpsitec在延續(xù)了該公司的市場(chǎng)定位，主要針對(duì)科學(xué)研究的實(shí)驗(yàn)室和研究中心以及小規(guī)模半導(dǎo)體制造晶圓廠提供世界領(lǐng)先的CMP設(shè)備，并且根據(jù)客戶的需求開發(fā)了新的Pcox系列。其CMP產(chǎn)品從用于單晶圓拋光的E460系統(tǒng)，一直到高產(chǎn)能的、可帶有多個(gè)拋光模組的Pcox 20X系列。
“從研發(fā)實(shí)驗(yàn)室到大批量的晶圓廠，每種客戶對(duì)CMP設(shè)備的需求都不相同，但是他們卻要求我們提供系列化、多樣化的CMP設(shè)備選擇。”Alpsitec總裁Marc Peltier先生對(duì)北京華興萬邦管理咨詢有限公司的分析師說。“我們的E460系統(tǒng)在全世界廣受歡迎，是因?yàn)樗軌蛱峁┭邪l(fā)實(shí)驗(yàn)室所需要的小潔凈室空間占用、低購(gòu)入成本和使用成本、對(duì)不同晶圓尺寸和不同研磨液的廣泛適應(yīng)性、以及手動(dòng)和自動(dòng)皆可的操作環(huán)境，同時(shí)該機(jī)臺(tái)還能以極高的智能化保證運(yùn)行的一致性。”
依托這種脫胎于德國(guó)工業(yè)設(shè)備的堅(jiān)固耐用和品質(zhì)保證，加上Alpsitec在工業(yè)視覺等智能化技術(shù)方面的優(yōu)勢(shì)，該公司開發(fā)了能適合不同類型客戶的、成序列的CMP設(shè)備，可以滿足不同的客戶具體要求，如新興半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)企業(yè)，或需大批量 CMP 處理的實(shí)驗(yàn)機(jī)構(gòu)等。今天諸如各種用于汽車和工業(yè)應(yīng)用的傳感器和微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）產(chǎn)品，許多都是批量遠(yuǎn)小于消費(fèi)電子用芯片的特別定制產(chǎn)品， 需要能夠簡(jiǎn)單而迅捷地運(yùn)行、能夠根據(jù)不同工藝靈活變換設(shè)置的半導(dǎo)體設(shè)備來進(jìn)行生產(chǎn)。
“正是因?yàn)檫@種系列化的、高一致性的設(shè)計(jì)還創(chuàng)造了Alpsitec的新優(yōu)勢(shì)：能夠很容易地從一種型號(hào)的設(shè)備升級(jí)到另外一種型號(hào)。”Peltier先生補(bǔ)充道。“CEA-LETI是全球知名的MEMS和傳感器研發(fā)機(jī)構(gòu)，他們經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的技術(shù)被飛思卡爾半導(dǎo)體、ST微電子和諾基亞等等公司采用，而該機(jī)構(gòu)先后購(gòu)買了七套Alpsitec的機(jī)臺(tái)。”
所以，Alpsitec的CMP設(shè)備吸引了很多優(yōu)質(zhì)客戶，包括在微電子等領(lǐng)域內(nèi)以創(chuàng)新、專利和培訓(xùn)而全球著名的CEA-LETI和歐洲微電子中心（IMEC），以及三星電子、IBM、ST微電子和Fairchild等全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體公司，以及許多歐洲一流大學(xué)的半導(dǎo)體技術(shù)實(shí)驗(yàn)室。在北京先特科技等分銷商支持下，不久前來自中國(guó)河北工業(yè)大學(xué)的一紙訂單讓Alpsitec看到了新的市場(chǎng)機(jī)會(huì)。
“河北工業(yè)大學(xué)購(gòu)買E460系統(tǒng)是Alpsitec近期發(fā)展中最重要的事件之一，由于我公司和該系統(tǒng)獨(dú)特的市場(chǎng)定位，這標(biāo)志著中國(guó)在微電子產(chǎn)業(yè)研發(fā)領(lǐng)域正在投入更多的資源。”Peltier先生總結(jié)道。“無論是跨國(guó)公司在中國(guó)建立研發(fā)中心，還是本地的大學(xué)、科研機(jī)構(gòu)和廠商都在推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)研發(fā)能力的快速提升，為此Alpsitec和我們的合作伙伴們、乃至此間業(yè)內(nèi)的許多廠商都深受鼓舞，大家都期待著更多來自中國(guó)的合作機(jī)會(huì)。”
格勒諾布爾市是法國(guó)著名科研和教育中心，設(shè)有國(guó)家級(jí)乃至世界級(jí)著名科研機(jī)構(gòu)，尤其在核能、航空航天、機(jī)械制造、工業(yè)自動(dòng)化、光纖通訊、搖控?fù)u感和環(huán)保科技等方面享有盛譽(yù)，也為該區(qū)域內(nèi)企業(yè)整合不同的創(chuàng)新資源提供了支持。從巴黎搭火車 TGV 到該市約需3小時(shí)，從里昂前往約需 1.5 小時(shí)。
圖一：Alpsitec聯(lián)合創(chuàng)始人兼總裁Marc Peltier先生在介紹該公司CMP設(shè)備獲得的各項(xiàng)殊榮
圖二：Alpsitec公司廣受歡迎的E460系統(tǒng)
圖三：阿爾卑斯山環(huán)抱的法國(guó)硅谷