《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > 模擬設計 > 新品快遞 > 摩爾定律聲聲喚 CMP制程再精進

摩爾定律聲聲喚 CMP制程再精進

2011-09-26
來源:Csia

  半導體元件若要追上摩爾定律速度,微縮制程就需要更新的技術相挺。化學材料與電子產品間的關系密不可分,美商陶氏化學旗下分公司陶氏電子材料的最新制程:化學機械研磨(CMP)銅制程,主訴求無研磨粒、自停(self-stopping)機制以及研磨墊,提供CMP銅制程高效能、低成本的解決方案。
  
  陶氏電子材料CMP研磨液研發總監余維中博士表示,一般含有研磨粒的研磨液,一般會形成erosion或刮痕(scratching),因此這次的產品研發過程中,力求將缺陷降到最低,以達成更高的良率。此外就成本考量,為了稀釋能力,減免研磨墊的清洗及研磨墊conditioning的減低。
  
  主要有三大技術優勢:首先,在不同的線寬與線譜密度下,均可產生low-dishing及no-erosion。其次,高銅研磨速率(highCurate)、晶圓表面銅的清除能力(clearing)、更具有對于阻絕層(barrierfilms)與介電層(dielectricfilms)的極高選擇比;此外,高良率、嚴格的Rs控制、高產能、以及寬大的制程窗口也是優勢之一。
  
  陶氏電子是于1897年在美國密西根州創立,1968年在臺灣成立臺北辦事處,目前在臺灣還有四個生產基地分別位于桃園、新竹竹南、南投南崗以及嘉義民雄;另于屏東有一陶氏益農試驗中心。2009年,陶氏電子并購RohmHaas后,臺灣陶氏開始轉型,偏重特殊與功能材料,快速進入電子材料市場。綜觀全球市場,大中華區是陶氏全球第二大市場,總投資9億美元,去年共銷售40.2億美元。目前,臺灣區電子材料部分銷售比最高者為半導體材料如研磨液、碳棒…等;印刷電路板居次。
  
  

本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
主站蜘蛛池模板: 99riav视频国产在线看| 久久久久人妻精品一区蜜桃| 激情内射亚洲一区二区三区爱妻| 四虎澳门永久8848在线影院| 麻豆国产精品va在线观看不卡| 国产精品亚洲一区在线播放| 96xxxxx日本人| 大美香蕉伊在看欧美| 一本色综合久久| 成年女人a毛片免费视频| 久久人人爽人人爽人人片av不 | 足本玉蒲团在线观看| 国产成人综合亚洲AV第一页| 香蕉视频在线看| 国产香蕉在线精彩视频| av在线播放日韩亚洲欧| 好日子在线观看视频大全免费| 中文字幕一精品亚洲无线一区| 美女被爆羞羞网站免费| 国产肝交视频在线观看| fuqer2018| 宝贝过来趴好张开腿让我看看| 中文字幕乱码中文乱码51精品| 日本永久免费a∨在线视频| 五月天婷婷视频在线观看| 男人一边吃奶一边做边爱| 北条麻妃在线一区二区| 老司机带带我懂得视频| 国产一级片在线| 青青草原精品国产亚洲av| 国产色视频一区二区三区QQ号| 99视频在线精品免费| 天天射天天干天天操| 久久免费视频精品| 日韩欧美精品在线视频| 亚州一级毛片在线| 朝鲜女**又多又黑毛片全免播放| 亚洲另类自拍丝袜第1页| 美国十次啦大导航| 国产aⅴ一区二区| sss欧美一区二区三区|