橫河PLC FA-M3在擴散爐上的應(yīng)用。擴散爐工作區(qū)間內(nèi)（800到1000mm)一般需要±01℃（個別要求±0.5℃)。多數(shù)情況下只使用外溫控制，內(nèi)溫只在數(shù)據(jù)測試（Profiling）和2-3周一次的矯正時使用。不同晶片及數(shù)量的要求內(nèi)溫相對外溫設(shè)定值由profiling給出。使用內(nèi)溫時，使用串級控制，內(nèi)溫輸出作為外溫設(shè)定值使用。為防止電流過大，會加一些電流限定或限制值斜坡。外溫取2熱電偶之高值。一般800到1200度內(nèi)擴散，一次約 12-14小時。 　

　　擴散爐工作區(qū)間內(nèi)（800到1000mm)一般需要±01℃（個別要求±0.5℃)。多數(shù)情況下只使用外溫控制，內(nèi)溫只在數(shù)據(jù)測試（Profiling）和2-3周一次的矯正時使用。不同晶片及數(shù)量的要求內(nèi)溫相對外溫設(shè)定值由profiling給出。使用內(nèi)溫時，使用串級控制，內(nèi)溫輸出作為外溫設(shè)定值使用。為防止電流過大，會加一些電流限定或限制值斜坡。外溫取2熱電偶之高值。一般800到1200度內(nèi)擴散，一次約12-14小時。

　　控制難點：

　　1：溫度精度的保持。＋0.1度需要相當(dāng)?shù)目刂乒に嚕≒ID參數(shù)）積累。

　　2：程序的自由度。多組目標(biāo)值數(shù)據(jù)要存儲并自由切換。避免干涉。

　　3：電熱絲斷線預(yù)警；通常使用CT監(jiān)測電流，配以電壓監(jiān)視。也有使用監(jiān)視同等條件下的輸出變化（比如從60%升高到70%)來判斷老化程度給出預(yù)警。

　　FA-M3適用模塊：

各電熱絲溫度控制－－－－-F3CU04-1S:

　　☆提供200ms周期，0.1度的高精度控制,溫度控制曲線條數(shù)不受限制。

　　☆單系統(tǒng)最多144loop溫控控制，節(jié)省了大量的安裝空間，控制更靈活，方便聯(lián)網(wǎng)擴展。

　　☆各點獨立，不必加裝隔離柵，減少電熱絲間干擾。

　　☆由于是模塊式，不再需要PLC與溫度調(diào)節(jié)器間繁瑣的通信編程和布線。

　　☆使用專用軟件設(shè)定PID/測試/監(jiān)視。不必使用記錄儀輔助。多路圖彩監(jiān)視為調(diào)試提供了方便。

　　其他－－－－-斷線檢測和e-RT3智能CPU

　　☆檢測加熱器電流的下限，斷線報警。

　　☆補償電源電壓變動，以防止誤報警。

　　☆e-RT實時系統(tǒng)CPU完成主控部和溫度控制部處理，代替?zhèn)鹘y(tǒng)PC，系統(tǒng)更穩(wěn)定。