郭超群:敞開(kāi)式離子源和微型氣泵集成的微型針-柱放電結(jié)構(gòu)芯片設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì) 2016-08-09 關(guān)鍵詞: 微納米