| MEMS傳感器和智能傳感器的發(fā)展 | |
| 所屬分類：技術(shù)論文 | |
| 上傳者：serena | |
| 文檔大小：141 K | |
| 標(biāo)簽： MEMS | |
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| 文檔介紹：MEMS傳感器和智能傳感器是新型傳感器的代表，具有集成化和智能化的特點。 | |
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