熱場發射電子槍在電子束光刻機中的應用研究
所屬分類:技術論文
上傳者:aetmagazine
文檔大小:667 K
標簽: 熱場發射電子槍 電子束束流 電子束束斑
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文檔介紹:介紹了電子槍的分類與特點,重點介紹了熱場發射電子槍的原理、結構、特點及在電子束光刻機中的應用。闡述了電子束光刻機束流與電子槍提取極電流之間關系,并分析了熱場發射電子槍各個參數對提取極電流的影響。研究了熱場發射電子槍的調校對電子束光刻工藝的影響,并通過實驗得出束斑與束流的關系。最后通過調整電子槍參數,制備了不同的光刻圖形,滿足了不同的光刻工藝要求,驗證了分析的結論。
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