??? 全球領(lǐng)先的集成電路生產(chǎn)晶圓" title="晶圓">晶圓清洗系統(tǒng)制造商FSI國際有限公司（納斯達克：FSII），今日宣布一家重要的半導(dǎo)體制造商在32 nm 集成電路制造" title="集成電路制造">集成電路制造的后段(BEOL)清洗能力開發(fā)中選用了FSI單晶圓清洗技術(shù)。這家客戶經(jīng)過一系列優(yōu)中選優(yōu)的過程，最終認定FSI的技術(shù)最符合32nm" title="32nm">32nm器件制造所預(yù)期各項新要求。FSI已經(jīng)針對這一開發(fā)項目發(fā)運評估性O(shè)RION?單晶圓清洗集群。?

IC制造商正在尋求的用于32nm器件的低介電系數(shù)(low-k)材料和金屬薄膜疊層，對于濕法清洗比前幾代BEOL工藝敏感得多。FSI與眾不同的單晶圓技術(shù)展示了高效去除刻蝕和灰化副產(chǎn)品的能力，同時不改變電介質(zhì)、不改變刻蝕金屬膜厚度以及避免電偶腐蝕。?

????“能被這樣一家重要客戶選中，實在是令人欣慰和倍受肯定的，”FSI董事長兼首席執(zhí)行官Don Mitchell這樣說道。“我們在單晶圓清洗技術(shù)的開發(fā)上是經(jīng)過深思熟慮的，即專注于將我們極為豐富的經(jīng)驗和專長轉(zhuǎn)變?yōu)闈M足行業(yè)進步需求的機臺設(shè)備。我們擁有在浸泡式、噴霧式和汽霧表面處理的批量和單晶圓平臺方面數(shù)十年獨到的經(jīng)驗和歷史，這讓我們對清洗需求范圍有了更深入的理解。在很大程度上憑借這一無價的寶貴資源，我們源自那些業(yè)已成功產(chǎn)品的單晶圓清洗技術(shù)實現(xiàn)" title="技術(shù)實現(xiàn)">技術(shù)實現(xiàn)了諸多核心技術(shù)，同時選擇性創(chuàng)新還可應(yīng)對來自32nm工藝的各項挑戰(zhàn)。?

關(guān)于FSI：?

??? FSI國際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設(shè)備技術(shù)及支持服務(wù)的全球性的供應(yīng)商。通過使用公司產(chǎn)品組合中的多" title="的多">的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式、旋轉(zhuǎn)噴霧式、汽相和超凝態(tài)過冷動力學(xué)等一整套清洗技術(shù)產(chǎn)品，客戶能夠?qū)崿F(xiàn)他們的工藝性能、靈活性和生產(chǎn)能力目標。公司推出的支持服務(wù)項目包括了產(chǎn)品及工藝的提升，從而延長已安裝的FSI設(shè)備的使用壽命，使世界范圍內(nèi)的客戶的資本投資獲得更高的回報。?

??? FSI國際有限公司全球網(wǎng)站：http://www.fsi-intl.com.?