??? 日前，由西安理工大學和北京有色金屬研究總院承擔的國家“863”計劃項目“TDR—150型單晶爐（12英寸MCZ綜合系統(tǒng)）” 在北京通過了驗收，這標志著擁有自主知識產權和核心技術的大尺寸" title="大尺寸">大尺寸集成電路與太陽能用硅單晶生長設備在我國" title="我國">我國研制成功。驗收專家組評價TDR—150型單晶爐性能穩(wěn)定可靠，運行平穩(wěn)，填補了國內12英寸無位錯硅單晶生長設備的空白。
“我國以單晶爐為代表的晶體生長" title="晶體生長">晶體生長設備一直存在核心技術不足的問題，高端產品" title="高端產品">高端產品均為國外公司所壟斷?！蔽靼怖砉ご髮W校長、課題組負責人劉丁教授介紹說，“硅單晶作為現(xiàn)代信息社會的關鍵性支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，也是發(fā)展計算機與集成電路的主要功能材料?！?
“該項" title="該項">該項成果突破了國外技術封鎖與壟斷，初步改變了在我國晶體生長設備領域研發(fā)制造受制于人的局面?！?驗收組組長、清華大學自動化系教授楊耕說，“該課題的完成對我國微電子和光伏產業(yè)的發(fā)展將起到積極的促進作用。”
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