9 月 24 日消息，韓媒 etnews 當地時間今日報道稱，SK 海力士計劃在未來兩年內新購置約 20 臺 ASML 的 EUV 光刻系統。考慮到 SK 海力士目前持有約 20 臺用于研發和生產的 EUV 機臺，這意味著這家存儲巨頭對此類設備的保有規模將在兩年內翻倍。

在 SK 海力士的兩大業務領域中，內存端的 EUV 光刻工藝早已隨著 2021 年的 1a nm DRAM 實現商業化，EUV 的應用規模也在隨著內存世代演進穩步提升。

而由于 AI 發展對企業級高性能存儲尤其是 HBM 需求的提升，SK 海力士需要更多的 EUV 設備來擴大先進 DRAM 內存的生產規模。

除目前主要應用的 Low-NA EUV 光刻機，SK 海力士本月早些時候還在存儲器業界引進了首臺量產型 High-NA EUV 光刻機，即 ASML 的 TWINSCAN EXE:5200B，部署在韓國利川 M16 生產基地中。