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佳能9月啟用新光刻機工廠 主要面向成熟制程及封裝應用

2025-08-01
來源:芯智訊

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7月31日消息,據《日經新聞》報道,日本相機、打印機、光刻機大廠佳能(Canon)位于日本宇都宮市的新光刻機制造工廠將于9月正式投入量產,主攻成熟制程及后段封裝應用設備,為全球芯片封裝與成熟制程市場提供更多設備產能支持。

據介紹,這座新工廠是佳能在2023年開始動工建設的,并可能使用自家開發的Nanoimprint(納米壓印)技術,總投資額超過500億日元,涵蓋廠房與先進制造設備。新廠面積達6.75萬平方公尺,投產后將使光刻設備總產能提升50%。

目前,荷蘭ASML 幾乎壟斷了全球90%以上的光刻機市場,不僅面向先進制程的浸沒式DUV光機市場,ASML幾乎獨占,在極紫外光(EUV)光刻機領域更是只有ASML一家供應商。

但是,在成熟制程(I-line和KrF)及先進封裝光刻機領域,佳能仍有一席之地。特別是后段制程設備,約占其總銷售額的30%,主要供應臺積電等封裝客戶,用于中介層與多芯片模塊制作,與ASML 在市場定位上并不直接競爭,而是專攻ASML 不重視的市場。

隨著AI 芯片推動CoWoS 與多芯片封裝需求持續攀升,佳能在封裝光刻機領域的技術優勢有望持續受益。新廠投產將有助于佳能在全球光刻機市場中穩固既有優勢,并為AI 與先進封裝需求提供更靈活的產能應對。


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