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壓電MEMS振動能量收集器的輸出功率提高近100倍

2023-01-29
來源:MEMS

  能量收集在很多情況下“幾乎不需要付出任何成本”,具有廣闊的應用前景。

  然而,利用這種幾乎免費的能源為電池或超級電容器充電再為負載供電,仍然需要面對很多挑戰。

  其中,“脈沖”振動尤其困難,其能量脈沖很快消失(高度衰減),因此難以捕獲。

  據麥姆斯咨詢報道,日本大阪公立大學(Osaka Metropolitan University)工程研究生院的一組研究人員開發出了一種簡單而有效的方法,以利用步行等脈沖源的能量。

  他們開發的壓電MEMS振動能量收集器(pVEH)的直徑只有約兩厘米,其U形金屬部件被稱為動態放大器(DM)。

  與傳統的能量收集相比,他們開發的新型pVEH可將脈沖振動轉換的輸出功率提高約90倍。

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  他們面對的挑戰是開發一種非諧振型pVEH,能夠應對時變和隨機振動,這些振動代表了現實世界中的大部分振動。當施加的振動頻率與諧振頻率略有不同時,具有高機械品質因數(QM)的pVEH輸出功率會急劇下降。

  為此,業界已經提出了各種方法來克服這個問題。

  例如,通過集成具有不同諧振頻率的多個線性pVEH以拓寬頻率帶寬,開發一種能量收集陣列結構來覆蓋多個頻率。

  另一種可能的方法是采用非線性振動效應。非線性彈簧已經用于磁性尖端質量或雙穩態結構,以及使用可移動檢測質量進行電氣或機械調節的自諧振調諧(SRT)。

  然而,電氣SRT的控制需要能量,而機械SRT的機制很復雜。

  2 DoF振動系統

  雖然這些方法對連續的隨機振動很有用,但當沖擊力非連續時,它們就不適用了,而且這種情況經常發生。盡管采用大檢測質量可以提高輸出能量,但這對于MEMS pVEH來說不是一個好的選擇,因為MEMS工藝不適合制造大尺寸器件。

  此外,所需壓電薄膜的厚度會隨著檢測質量的增加而增加。

  為了增強由脈沖力驅動的MEMS pVEH的輸出能量,研究人員模擬了一種具有重疊振動模式和諧振的二自由度(2 DoF)振動系統,原理上應該能夠大大增強能量回收和收集。

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  利用2 DoF系統中pVEH集總參數模型評估關鍵參數不同值的性能

  根據建模結果,包括兩個振動振蕩器(2 DoF)的耦合度,他們構建了一個MEMS器件和一個尺寸合適的動態放大器。

  由于材料和壓力的本質不同,這兩個功能塊被構建為單獨的器件:壓電MEMS器件使用Pb(Zr, Ti)O3和BiFeO3薄膜,而動態放大器使用不銹鋼來減少內摩擦(這是影響動態放大器品質因數的因素之一)。

  此外,動態放大器需要一種振動模式以在pVEH的諧振頻率附近與懸臂結構進行過渡運動,從而可以有效地將存儲的能量傳遞到pVEH。為此,研究人員開發了一種U形動態放大器。

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  U形2 DoF pVEH結構和制造,(a)使用有限元建模的振動模式分析,(b)動態放大器位移和輸出功率對振動頻率(c, d)的依賴性。

  測試

  研究人員利用振動發生器和加速度計對他們制作的裝置進行了測試,并通過連接到鎖定放大器的激光位移傳感器測量了位移。利用鎖定放大器測量了與MEMS pVEH連接的負載電阻兩端的輸出電壓。

  結果表明,對于現實世界的非平穩(脈沖)振動以及諧波振動,與傳統的單自由度(1 DoF)版本相比,2 DoF pVEH可以將輸出功率提高近兩個數量級。

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  與傳統1 DoF技術相比,2 DoF方案實現了顯著改進



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