利用材料特性進行有利組合，硅、鋁和鈦的氮化物（nitrides）以及碳化硅（siliconcarbide）和其他陶瓷越來越多地應用于MEMS制造中。陶瓷材料MEMS列表：

　　這個列表同時羅列出了一些應用技術。

　　氮化鋁（AlN）在纖鋅礦結構（wurtzite structure）中結晶，因此表現出熱電和壓電特性，例如使傳感器對法向力和剪切力敏感。

　　纖鋅礦結構（wurtzite structure）

　　TiN表現出高電導率（electrical conductivity）和大彈性模量（elastic modulus），從而有可能用超薄梁結構（ultrathin beams）實現靜電MEMS驅動方案。此外，TiN對生物的腐蝕具有高抵抗力，這樣就有足夠的條件在生物醫學環境中使用。

　　陶瓷MEMS的例子：MEMS生物傳感器的電子顯微鏡照片，MEMS生物傳感器在TiN接近底面的位置設計了一個50 nm厚度的可彎曲TiN懸臂。由于梁夾在字母“X”形的結構的中間，當光束向下彎曲時，復位力會增大，實現形變的功能。

（參考：M. Birkholz; K.-E. Ehwald; T. Basmer; et al. (2013). "Sensing glucose concentrations at GHz frequencies with a fully embedded Biomicro-electromechanical system (BioMEMS)".J. Appl. Phys.113(24):244904–2449048.Bibcode:2013JAP...113x4904B.doi:10.1063/1.4811351.PMC3977869.PMID25332510）

　　聚合物衍生的陶瓷（Polymer-derived ceramics，PDC）可以通過在惰性或反應性氣氛中對適當的前體（precursor）進行熱處理來制備而無需任何添加劑。PDC具有出色的性能，包括對氧化和腐蝕的穩定性，以及在極高溫度下的抗結晶性和抗蠕變性。適宜于針對MEMS和生物醫學領域進行設計和成型。

　　PDC可以用作薄涂層，也可以通過澆鑄以及光刻法（lithography）成型。光刻方法在CMi中得到利用，優化和組合。形成的模具被進一步處理，例如 通過兩次光子聚合（two photon polymerization，2PP）來增加功能，或在內部澆鑄前驅物之前涂上涂層以提高潤濕性（wettability）和脫模性（demoldability）。

　　材料之間是關聯的，并不是某一個材料完全勝任MEMS的整個工藝，陶瓷材料也結合的聚合物一同實現應用。

　　PDC加工路線允許通過多種方式來調整所得陶瓷的組成和微觀結構，從而調節機械或功能特性。從諸如聚硅氧烷（polysiloxanes）或聚硅氮烷（polysilazanes）的不同種類的所謂的陶瓷前聚合物（preceramic polymers，PCP）開始，可以添加填料、催化劑或引發劑。通過熱處理或紫外線照射（UV-irradiation），液態前體（liquid precursors）在交聯時轉變為融合的生坯（greenbodies）。隨后的熱解通常在惰性氣氛中在700°C至1600°C之間的溫度下進行，將生坯轉變為無機（聚合物衍生的）陶瓷材料，例如碳氮化硅（SiCN）或碳氧化硅（SiOC）。

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