據(jù)業(yè)內(nèi)信息，昨天路維光電調(diào)研信息顯示已經(jīng)實現(xiàn)250nm制程節(jié)點半導體掩膜版的量產(chǎn)，路維光電是國產(chǎn)掩膜版行業(yè)的領頭羊，是目前國內(nèi)唯一可覆蓋G2.5-G11全世代產(chǎn)線的本土掩膜版企業(yè)。

路維光電的全稱是深圳市路維光電股份有限公司，是總部在深圳市南山科技園的一家高科技技術密集型國家級高新技術企業(yè)，主要業(yè)務是各類掩膜產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)，在中國掩膜版行業(yè)擁有多年的技術與經(jīng)驗，是國內(nèi)唯一一家可覆蓋G2.5-G11全世代產(chǎn)線的本土掩膜版企業(yè)。

掩膜版產(chǎn)品主要用于平板顯示、半導體、觸控和電路板等行業(yè)，是下游微電子制造過程中轉移圖形的基準和藍本，目前實現(xiàn)了250nm制程節(jié)點半導體掩膜版量產(chǎn)，并掌握了180nm/150nm節(jié)點半導體掩版制造核心技術，滿足先進半導體芯片封裝和器件等應用需求。

其主要的客戶有通富微電、士蘭微、晶方科技、華天科技、三安光電、光迅科技等公司目前引以為傲的G11掩膜版產(chǎn)品相關技術指標已達國際先進水平，CD精度可控制在0.1μm以內(nèi)，總長及位置精度可控制在0.5μm以內(nèi)。

根據(jù)相關的資料顯示，路維光電截至目前已經(jīng)申請的專利已經(jīng)超過110件，其中占比超過三成的發(fā)明專利近40件，其專利的主要方向在掩膜版、涂膠機、光學膜、光刻膠等領域。

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