半導體設備受益國產替代，近幾年正迎來快速成長期，一方面源自中國大陸晶圓廠的快速擴產和份額增長，蛋糕正在變大。另一方面成長源自設備廠商的國產替代，設備國產化率有望迅速提升。

　　體現到微觀層面上，短期本土半導體設備企業已經進入業績兌現期：中微公司和北方華創率先發布中報業績預告，均超出市場預期，股價大漲。未來晶圓產能東移&國產替代邏輯長期存在，行業需求景氣度有望長期延續。

　　 一、行業格局仍是歐美主導

　　2021年全球半導體設備市場規模首破千億美元，中國大陸占約29%，達到全球第一，下游擴產持續拉動設備需求。

　　數據來源：中信證券

　　從行業格局來看，美日歐廠商在半導體設備領域具備傳統優勢，占據半導體設備全球前15名席位。據測算，2021年中國大陸廠商營收體量在全球市場占比僅約2.5%。

　　數據來源：中信證券

　　二、設備各領域國產化率如何？

　　中信證券基于三座晶圓廠招投標數據，對2016-2022年累計采購設備的各細分市場格局進行了梳理，部分領域國產化率可達到20%以上，部分國產化率尚低。

　　（1）去膠：國產化率約74%(測算，下同)，屹唐股份、盛美上海等位于國內前列；

　?。?）清洗設備：國產化率約38%，盛美上海設備中標數量僅次于日本迪恩士，至純科技、北方華創、芯源微等亦為國產替代主力，各家產品類型有所區別；

　　（3）氧化擴散/熱處理設備：國產化率約28%，北方華創、屹唐股份、盛美上海中標設備數量靠前；

　　（4）刻蝕設備：國產化率約22%，中微公司、北方華創、屹唐股份分列國內前三；

　　（5）化學機械拋光：國產化率約23%，華海清科為國內細分龍頭；

　　（6）薄膜沉積：國產化率約5.7%，拓荊科技、北方華創、盛美上海中標設備數量靠前；

　　（7）過程控制：國產化率約3.6%，中科飛測、精測半導體、睿勵科學儀器國內領先；

　?。?）離子注入：國產化率約3.1%，爍科中科信是為數不多獲得采購的國產廠商，凱世通半導體亦為國產化主力；

　　（9）光刻機：國產化率約1.1%，基本由荷蘭廠商阿斯麥壟斷，國內上海微電子實現零突破；

　　（10）涂膠顯影：國產化率約1%，日本東京電子領先，國內芯源微實現零突破。

　　總體而言，國內設備廠商在設備品類、工藝覆蓋率方面仍存在較大提升空間，美國制裁中國廠商事件已經激發國內廠商的供應鏈安全意識，國內晶圓廠有望加快供應鏈本土化，我們預計國產設備廠商接下來1~2年有望受益國產設備份額的階躍式提升。

　    三、相關標的

　　中信證券認為，產能擴張+國產替代積極推進，看好未來1~2年半導體設備行業發展。建議優先選擇賽道空間大、產品布局全面、技術實力較強的龍頭設備廠商，以及份額尚低、受益國產替代有望快速成長的細分賽道成長型企業。

　?。?）晶圓廠工藝設備：北方華創、中微公司、盛美上海，建議關注屹唐股份、拓荊科技、華海清科、芯源微、至純科技、精測電子等。

　　（2）測試設備/封裝設備：華峰測控，建議關注長川科技、光力科技等。

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