電子強軍，科技報國。中國電科深入學(xué)習(xí)貫徹習(xí)近平總書記重要講話精神和重要指示批示精神，秉承軍工電子主力軍、網(wǎng)信事業(yè)國家隊、國家戰(zhàn)略科技力量的使命責(zé)任，堅決履行強軍首責(zé)，聚力推動改革創(chuàng)新，用一型型“大國重器”服務(wù)武器裝備現(xiàn)代化和高水平科技自立自強。為展現(xiàn)電科人為強國強軍事業(yè)的不懈追求，特開設(shè)“中國電科與大國重器”專欄報道，今日推出報道“奮起直追 推動高能離子注入機自立自強”。

“成功了!成功了!”

仲夏深夜，在北京東南方的中國電科所屬北京爍科中科信設(shè)備研發(fā)中心，傳來一聲聲激動的吶喊聲，困擾研發(fā)團隊已久的高能離子注入機核心技術(shù)難關(guān)得到突破!幾日后，好消息傳來，由該團隊自主研制的國內(nèi)首臺高能離子注入機順利進駐國內(nèi)先進集成電路大生產(chǎn)線。

高能離子注入機是離子注入機中技術(shù)難度最大的機型，是我國集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)鏈上亟待攻克的關(guān)鍵一環(huán)。

習(xí)近平總書記指出，突破“卡脖子”關(guān)鍵核心技術(shù)必須堅持問題導(dǎo)向，發(fā)揮新型舉國體制優(yōu)勢，踔厲奮發(fā)、奮起直追，加快實現(xiàn)科技自立自強。

中國電科貫徹落實習(xí)近平總書記重要指示批示精神，發(fā)揮集團公司國家戰(zhàn)略科技力量重要作用，下定決心、保持恒心、找準重心，加快補齊產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈短板弱項，提升關(guān)鍵核心技術(shù)掌控力。

作為集成電路芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備，離子注入機設(shè)備的研制難度極大、研制基礎(chǔ)薄弱。“決不能讓芯片制造斷鏈短鏈!”懷揣裝備報國的理想，研發(fā)團隊正式向關(guān)鍵裝備研制發(fā)起了挑戰(zhàn)，經(jīng)過艱苦努力，在成千上萬遍實驗

模擬后，實現(xiàn)了中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等全譜系離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展，大幅縮小了與國際一流水平差距。

聚焦全產(chǎn)業(yè)鏈，高端裝備產(chǎn)業(yè)化也已然邁出新步伐。中國電科董事長、黨組書記陳肇雄強調(diào)，要充分發(fā)揮電子信息領(lǐng)域完整產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢，統(tǒng)籌戰(zhàn)略需求，保持恒心定力，補齊短板弱項，強化“非對稱”趕超戰(zhàn)略思維，以長補短、換道超車，堅決打贏關(guān)鍵核心技術(shù)攻堅戰(zhàn)。

堅持推進高水平科技自立自強澎湃向前。近年來，中國電科積極布局集成電路制造裝備、三代半導(dǎo)體等一批重點產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，成效顯著：圍繞支撐集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的電子制造裝備領(lǐng)域、電子功能材料領(lǐng)域，中國電科已形成離子注入機、化學(xué)機械平坦化設(shè)備(CMP)等拳頭產(chǎn)品，集成電路關(guān)鍵制造裝備產(chǎn)業(yè)規(guī)?；?、產(chǎn)品系列化步伐明顯加快，關(guān)鍵領(lǐng)域保障能力不斷增強，有效提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈現(xiàn)代化水平;聚焦半導(dǎo)體制造、半導(dǎo)體應(yīng)用，中國電科連續(xù)攻克數(shù)百項關(guān)鍵核心技術(shù)，填補了產(chǎn)業(yè)鏈空白;著力打造國產(chǎn)集成電路和三代半導(dǎo)體裝備驗證平臺，封裝組裝、新能源、新型顯示裝備及其智能制造集成服務(wù)核心競爭力優(yōu)勢不斷提升。

未來，中國電科將繼續(xù)瞄準國家重大戰(zhàn)略需求，在關(guān)鍵核心技術(shù)上全力攻堅，為高水平科技自立自強作出更大貢獻。

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