摘要
1、行業增速63％，持續驗證半導體設備高景氣
22Q1國內主要半導體設備廠商合計實現營收近50億元，行業營收同比增速63％，相較全年51％的一致預期，實現超預期增長，進一步驗證晶圓廠高速擴產下的半導體設備行業高景氣度。
2、盈利能力持續改善，業績拐點將至
業績角度來看，隨著國產半導體設備持續放量，主要國產設備公司盈利能力多數均實現較大幅度提升，利潤增速遠高于營收增速，可以預見隨著2022年行業持續高景氣度帶動各半導體設備廠商持續放量，規模效應、產業結構優化等將進一步助推半導體設備公司盈利能力持續改善，迎接業績增長拐點。
3、在手訂單充沛，加大零部件備貨保供應
合同負債角度看，北方華創合同負債再創新高，公司在手訂單持續充沛；中微公司、拓荊科技合同負債大幅提升，一部分原因可能來自于公司變更設備收款策略（是否收取預收款，預售比例調整等），更多也側面印證公司在手訂單的持續增長。 采購角度看，各國產半導體設備公司2021年依舊采取超前2倍多的采購策略以保證設備交付。尤其可以看到，北方華創2021年采購總額達176億元，超當年50億材料成本3倍之多；22Q1末存貨也相較21Q1末大幅增長；側面印證公司在手訂單充沛，加足馬力備貨零部件滿足晶圓廠旺盛需求。
建議關注：北方華創、中微公司、盛美上海、拓荊科技、萬業企業、芯源微、華峰測控、至純科技、長川科技
風險提示：（1）下游擴產不及預期；（2）零部件短缺影響出貨；（3）貿易爭端風險。
正文
1、行業增速63％，持續驗證半導體設備高景氣
22Q1國內主要半導體設備廠商合計實現營收近50億元，行業營收同比增速63％，相較全年51％的一致預期，實現超預期增長，進一步驗證晶圓廠高速擴產下的半導體設備行業高景氣度。
北方華創：22Q1營收21億元，同比增長51％；其中1－2月營收13．66億元，同比增長135％，貢獻一季度主要增長。同時，公司首次披露訂單數據，1－2月公司新增訂單超30億元，同比增長超60％。全年來看，一季度通常為行業淡季，多數訂單會在下半年集中確認收入，從而帶動下半年營收高增速，此外結合公司披露的訂單增速，我們預計公司后續季度將繼續實現超預期增長。
中微公司：22Q1營收9．4億元，同比增長57％；其中刻蝕設備營收7．14億元，實現翻倍增長；MOCVD設備收入0．42億元，同比下降68．59％，主要因公司新簽Mini LED MOCVD規模訂單尚未確認收入。展望后續季度，我們認為公司刻蝕設備將繼續保持高增速增長；新簽的超180腔Mini LED MOCVD訂單也將隨著產品進一步交付持續貢獻收入。
盛美上海：22Q1營收3．5億元，同比增長29％，稍不及預期，主要因為受疫情等因素影響導致公司交付設備驗收確認進度放緩所致；預計隨著后續廠務端情況改善，延遲部分收入將貢獻后續季度增長，公司設備交付確認也將快速恢復常態化。
華峰測控：22Q1營收2．6億元，同比增長123％，后續隨著8300系列產品持續放量，公司產品結構將進一步改善，同時貢獻公司收入規模進一步擴大。
長川科技：22Q1營收5．4億元，同比增長83％，同樣實現超預期增長；后續高端SOC測試機將繼續為公司貢獻增量收入。
拓荊科技：22Q1營收1億元，同比增長82％；作為目前國內唯一實現PECVD和SACVD設備產業化應用的國產廠商，公司在晶圓廠薄膜沉積設備國產化推進中具有非常強的不可替代性，后續也將隨著下游擴產實現高速增長。
萬業企業：22Q1營收0．9億元，同比下降77％，主要因為公司房地產業務占比仍比較大，一季度房地產部分未集中交付所致。半導體設備部分，公司旗下凱世通離子注入機于去年實現0－1突破，營收近1．2億元；年初至今來看，公司半導體設備部分新增訂單已超6．8億元，將持續為公司后續集成電路設備業務增長提供保障。
至純科技：22Q1營收5．4億元，同比增長136％。2021年，公司半導體設備新增訂單11．2億元，公司預計2022年濕法設備訂單目標將超20億元，近翻倍增長驗證公司信心與實力。
芯源微：22Q1營收1．8億元，同比增長62％。截至21Q3末，公司公告的在手訂單近13億，隨著訂單逐步交付，將繼續為公司2022年高速增長保駕護航。
2、盈利能力持續改善，業績拐點將至
業績角度來看，相較于海外設備大廠近30％的扣非后凈利率水平，國內前道設備企業仍有較大提升空間。
但從22Q1數據來看，隨著國產半導體設備持續放量，主要國產設備公司盈利能力多數均實現較大幅度提升，利潤增速遠高于營收增速，可以預見隨著2022年行業持續高景氣度帶動各半導體設備廠商持續放量，規模效應、產業結構優化等將進一步助推半導體設備公司盈利能力持續改善，迎接業績增長拐點。
具體來看：
1）北方華創綜合扣非凈利率水平相較21Q1的2％提升5 pcts達到7％；
2）中微公司隨著MOCVD毛利率水平大幅改善，以及刻蝕毛利率抬升，扣非后凈利率水平由21Q1的2％高速增長至22Q1的近20％；
3）盛美上海受收入確認延遲、以及加大研發開發新設備影響，扣非后凈利率相較去年有所回調，達到7％；
4）華峰測控受產品結構調整以及規模效應影響，扣非后凈利率由去年36％提高至48％；
5）長川科技則因所得稅等影響，導致扣非后凈利率回調至12％；
6）拓荊科技扣非后歸母凈利潤仍未實現扭虧為盈，但隨著2021年公司主要產品PECVD設備毛利率提升至40％多的行業水平，加之規模化之后研發投入比例常態化，我們期待公司2022年實現扣非后歸母凈利潤扭虧為盈；
7）至純科技22Q1扣非后凈利率達7％，主要受益于更好的費用管控；
8）芯源微22Q1扣非后歸母凈利率達到17％，主要得益于更好的毛利率，以及研發費用相較去年一季度確認比例相對較低。
3、在手訂單充沛，加大零部件備貨保供應
合同負債角度看，北方華創合同負債再創新高，公司在手訂單持續充沛；中微公司、拓荊科技合同負債大幅提升，一部分原因可能來自于公司變更設備收款策略（是否收取預收款，預售比例調整等），更多也側面印證公司在手訂單的持續增長。
擴產需求旺盛導致的供應緊張已經從半導體設備向上游零部件端蔓延。我們復盤2021年各大國產半導體設備公司的采購情況，可以看到各公司2021年依舊采取超前2倍多的采購策略以保證設備交付。尤其可以看到，北方華創2021年采購總額達176億元，超當年50億材料成本3倍之多；22Q1末存貨也相較21Q1末大幅增長；側面印證公司在手訂單充沛，加足馬力備貨零部件滿足晶圓廠旺盛需求。
