《電子技術(shù)應(yīng)用》
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5400萬(wàn),俄羅斯想對(duì)標(biāo)ASML,研發(fā)超過(guò)EUV的光刻機(jī)?你信么?

2022-04-14
來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
關(guān)鍵詞: 俄羅斯 ASML EUV

近日,有媒體報(bào)道稱,在芯片全面被美國(guó)制裁后,俄羅斯打算自己研發(fā)光刻機(jī),并且一出手就對(duì)標(biāo)當(dāng)前最牛的ASMLEUV光刻機(jī)技術(shù)。

而為了研發(fā)出這種光刻機(jī),俄羅斯前期投資6.7億盧布(約5400萬(wàn)元人民幣),由有著蘇聯(lián)硅谷中心之稱、以微電子專業(yè)見長(zhǎng)的俄羅斯莫斯科電子技術(shù)學(xué)院 (MIET)來(lái)負(fù)責(zé)。

一時(shí)之間,網(wǎng)友們沸騰了,看好者有之,吐槽者有之。

有人說(shuō)5400萬(wàn)就想研發(fā)出比EUV更牛的光刻機(jī),真的是做夢(mèng),要這么容易,中國(guó)早研發(fā)出來(lái)了,佳能、尼康也不至于被ASML打得找不著北了。

也有人看好,稱俄羅斯的理論技術(shù)還是很厲害的,一旦下定決心來(lái)研發(fā),說(shuō)不定是有可能的,我們樂觀其成。

那么俄羅斯要搞的技術(shù),究竟是什么技術(shù)?為什么說(shuō)比ASML的EUV光刻機(jī)還先進(jìn)?其實(shí)是一種“無(wú)掩膜X射線光刻機(jī)”。

原理就是操作波長(zhǎng)是0.01nm到10nm之間的X射線,直接在硅片上,刻畫出電路圖來(lái),類似于激光刻章那種。

由于芯片的精度,一定程度上是與光線相對(duì)應(yīng)的,而EUV采用的是13.9nm波長(zhǎng)的光源,所以從光源看,X射線似乎確實(shí)更厲害一點(diǎn)。

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其實(shí)這項(xiàng)技術(shù)在30年前就提出來(lái)了,但是你想一想,操縱X射頻,在硅片上直接刻幾十層、上百億個(gè)晶體管的電路圖,可不是刻章刻幾個(gè)字的問(wèn)題,你想一想就知道有多難。

所以雖然30多年來(lái)一直有研究,但大家并沒有用于芯片制造,而是采用了現(xiàn)在的光刻原理,就是先制作電路圖的掩膜,再通過(guò)光刻機(jī)來(lái)照射,把掩膜上的電路刻到硅晶圓上,這樣雖然流程很復(fù)雜,但可操作性就大多了。

只是現(xiàn)在俄羅斯要想搞光刻機(jī),沒有廠商敢與他合作,所以不得不另辟蹊徑,走這條看起來(lái)簡(jiǎn)單,也不需要太多廠商合作的方式,這是沒有辦法的辦法。

至于能不能成功,又誰(shuí)知道呢,反正除了ASML外,其它各國(guó),甚至各大芯片企業(yè)都希望它能夠成功的,特別是中國(guó),可是熱切的希望它能夠成功。




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