薄膜應(yīng)力按作用方向的不同，被劃分為負(fù)值的壓應(yīng)力和正值的張應(yīng)力，當(dāng)薄膜相對(duì)于基底膨脹時(shí)，則處于壓應(yīng)力狀態(tài)，而當(dāng)薄膜相對(duì)于基底收縮時(shí)，則處于張應(yīng)力狀態(tài)。

　　圖片

　　薄膜的殘余應(yīng)力由熱應(yīng)力和內(nèi)應(yīng)力組成，熱應(yīng)力與內(nèi)應(yīng)力的形成機(jī)理如下所述。

　　大多數(shù)薄膜在高于大氣環(huán)境溫度的真空環(huán)境中制備完成，在逐漸冷卻至室溫的過程中，由于薄膜與基底、薄膜與薄膜之間的熱膨脹系數(shù)不同，使得薄膜系統(tǒng)中各部分之間的膨脹程度有所不同，這種由溫度變化引起的薄膜系統(tǒng)中各部分之間的膨脹差異稱為熱應(yīng)變，從而產(chǎn)生了熱應(yīng)力。薄膜內(nèi)應(yīng)力的形成機(jī)理的復(fù)雜程度遠(yuǎn)大于熱應(yīng)力。

　　薄膜內(nèi)應(yīng)力的形成、作用方向和作用方向的變化與薄膜的制備方式和工藝條件息息相關(guān)，不同的制備方式和工藝條件會(huì)作用在薄膜生長過程中，通過影響薄膜中的晶粒、晶界、雜質(zhì)、空位和表面應(yīng)力等因素來改變薄膜的結(jié)構(gòu)，薄膜內(nèi)應(yīng)力的形成是多種機(jī)制綜合作用的結(jié)果。

　　光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)軟件

　　功能多樣

　　★TFCalc 是一個(gè)光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)和分析的工具，這里有按順序排列介紹了 TFC 的功能：吸收、有效鍍膜、角度匹配、雙錐形的穿透、黑體光源、色彩優(yōu)化、約束、繼續(xù)優(yōu)化目標(biāo)、派生目標(biāo)、探測(cè)器、散射公式、電場(chǎng)強(qiáng)度、同等折射率、同等堆棧、獲得材質(zhì)、全局優(yōu)化、組優(yōu)化、發(fā)光體、膜層敏感性、局部優(yōu)化、多重環(huán)境、針優(yōu)化、光學(xué)監(jiān)控、光學(xué)密度、相位移動(dòng)、psi、發(fā)光分布、折射率的確定、反射、敏感度分析、堆棧公式、綜合、穿透率、隧道效應(yīng)、可變材料。

　　創(chuàng)新

　　★TFCalc 軟件是膜系設(shè)計(jì)軟件中提供創(chuàng)新方法的領(lǐng)導(dǎo)者。例如，TFCalc 允許活動(dòng)材料-材料的折射率隨著外部影響而改變。這個(gè)功能是其它商業(yè)軟件沒有的功能。

　　容易使用

　　★TFCalc 是標(biāo)準(zhǔn)的 windows 和蘋果機(jī)程序；薄膜設(shè)計(jì)工程師利用菜單、對(duì)話框和窗口來輸入并顯示結(jié)果。

　　★Software Spectra 努力讓 TFCalc 軟件盡可能的容易使用，特別是對(duì)僅僅偶爾使用軟件的工程師來說這一點(diǎn)更加重要。TFCalc 軟件包中包含了大量的設(shè)計(jì)實(shí)例。

　　多種平臺(tái)

　　TFCalc 可以在以下計(jì)算機(jī)和操作系統(tǒng)下工作：

　　★運(yùn)行 windows 3.1 ，3.11， 95，98，2000，7,XP 的 PC。

　　★運(yùn)行 System 7 或更新版本的蘋果計(jì)算機(jī)。

　　★TFCalc 所輸出的檔格式兼容這兩個(gè)平臺(tái)，讓你和同時(shí)可以共享數(shù)據(jù)。