據(jù)清華大學(xué)官方消息,近日,由清華大學(xué)機械系路新春教授帶領(lǐng)清華大學(xué)成果轉(zhuǎn)化項目公司華海清科研發(fā)的首臺12英寸(300mm)超精密晶圓減薄機(Versatile-GP300),已經(jīng)正式出機,發(fā)往國內(nèi)某集成電路龍頭企業(yè)。

這是路新春教授團隊與華海清科解決我國集成電路拋光裝備“卡脖子”問題之后,又一突破性成果,將應(yīng)用于3D IC制造、先進封裝等芯片制造大生產(chǎn)線,滿足12英寸晶圓超精密減薄工藝需求。

12英寸超精密晶圓減薄機是集成電路制造不可或缺的關(guān)鍵裝備,復(fù)雜程度高,技術(shù)攻關(guān)難度大,市場準入門檻高,長期被國外廠商高度壟斷,國內(nèi)市場嚴重依賴進口。

為了突破減薄裝備領(lǐng)域的技術(shù)瓶頸,路新春教授帶領(lǐng)華海清科,利用在化學(xué)機械拋光領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗,集中力量開展超精密減薄理論與技術(shù)研究,攻克晶圓背面超精密磨削、平整度智能控制、表面損傷及缺陷控制系列核心技術(shù),研制出首臺用于12英寸3D IC制造、先進封裝等領(lǐng)域晶圓超精密減薄機,解決該領(lǐng)域“卡脖子”問題。

路新春教授團隊自2000年起開展化學(xué)機械拋光(CMP)基礎(chǔ)研究,承擔國家重大科技攻關(guān)任務(wù)十余項,成功孵化華海清科,并研制出我國第一臺12英寸“干進干出”CMP裝備及系列產(chǎn)品,整體技術(shù)達到國際先進水平,實現(xiàn)28nm工藝量產(chǎn),并具備14-7nm工藝拓展能力,創(chuàng)造了多項國產(chǎn)裝備紀錄。

該設(shè)備累計110余臺應(yīng)用于先進集成電路制造大生產(chǎn)線,市占率、進口替代率均位居國產(chǎn)IC裝備前列。

系列成果填補了國內(nèi)空白,打破了國際巨頭壟斷,首次實現(xiàn)了國產(chǎn)拋光裝備的批量產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

路新春教授團隊還積極推進科研成果轉(zhuǎn)化,實現(xiàn)基礎(chǔ)研究和產(chǎn)業(yè)需求縱向貫通,孵化出華海清科,這是目前我國唯一一家12英寸CMP商業(yè)機型的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商。