自面世以來，MEMS產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展。
自90年代第一個產(chǎn)品開始，傳感器從先測量壓力，到測量加速度（聲學/機械量），然后轉(zhuǎn)向旋轉(zhuǎn)傳感（陀螺儀）和可見光管理（DLP），然后再進行可見光以外的光傳感（微測輻射熱計，熱電堆），微流體，RF ，超聲，多光譜等。
現(xiàn)在，我們正朝著更全面的感知時代邁進，其中許多參數(shù)由許多不同的傳感器（例如傳感器集線器）進行監(jiān)控。此外，MEMS正朝著更多處理/計算的時代邁進，因為它為數(shù)據(jù)帶來了更高的質(zhì)量。
如圖1所示，2019年，全球MEMS市場規(guī)模達115億美元。其中包括以下MEMS設備，其應用廣泛，包括：噴墨頭，壓力，麥克風，慣性，IR，Si微流體，光學，RF，振蕩器，環(huán)境，超聲波，微型揚聲器等。
由于某些特定市場上受到COVID-19的負面影響，今年收入預計將下降5.2％：
圖1
由于疫情封鎖期間對汽車需求的急劇下降，而且由于經(jīng)濟不安全，汽車MEMS市場將受到影響。此外，汽車工廠長時間關(guān)閉，加劇了負面影響。
在國防和航空航天領(lǐng)域，由于今年初航空旅行癱瘓，主要用于民航的傳統(tǒng)MEMS傳感器（壓力，慣性）將受到影響，而且新飛機訂單減少了。國防應用中使用的MEMS不會受到太大影響，因為政府計劃仍將繼續(xù)，并且采購預算不變。
在消費類應用中，影響取決于終端系統(tǒng)。到2020年，由于人們擔心自己的工作，移動需求似乎仍然很低，經(jīng)濟不安全感促使許多人推遲升級。但在2020年上半年，PC /筆記本電腦/平板電腦的需求一直強勁，因為用戶已經(jīng)購買新系統(tǒng)，以應付逗留在家中的需求，無論是專業(yè)和教育/消遣。
來自醫(yī)療，工業(yè)和電信的收入不會受到太大影響。相反，由于其在大流行中的應用，醫(yī)療和工業(yè)MEMS有望在2020年實現(xiàn)增長：用于PCR診斷的微流控技術(shù)，用于呼吸機的壓力和流量計，可幫助處于ICU重癥呼吸道疾病的患者，溫度槍中的熱電堆也發(fā)展迅猛，因為發(fā)熱是COVID-19的主要癥狀之一，這就使得熱像儀中的測微輻射熱計有助于篩查發(fā)熱的人，這就帶來了相關(guān)傳感器的繁榮。
從2021年起，MEMS市場將恢復增長，預計到2025年市場將達到近177億美元，2019- 2025年的復合年增長率為7.4％。相對于市場規(guī)模而言，最大的增長預計來自消費，工業(yè)和醫(yī)療MEMS。Yole在2019日歷中的先前分析預測到2024年將達到約180億美元，因此由于COVID-19的放緩，這一預測被推遲了一年。
價格低廉，MEMS何去何從？
在過去的幾年中，MEMS市場一直存在價格壓力，特別是在消費和汽車應用中（圖2）。
圖2
從歷史上看，各種各樣的設備ASP侵蝕浪潮已經(jīng)出現(xiàn)，首先是在汽車市場（慣性，壓力），然后是在消費電子產(chǎn)品（慣性，壓力，麥克風），其次是RF連接（BAW濾波器），并在其他消費品中被廣泛采用（用于例如可穿戴設備中的慣性MEMS和麥克風）。我們現(xiàn)在處于價格無法低得太多的價位（$ 0.4- $ 0.5）。
實際上，某些MEMS（例如慣性，麥克風等）的價格已經(jīng)低至0.1-0.2美元，但仍將需要一些有源傳感區(qū)域（Si），而這些成本將與基線成本一起出現(xiàn)。此外，除了BOM之外，即使利潤非常低，公司仍需要一些利潤。因此，問題是，我們下一步要去哪里？各種方案都是可能的：
首先，由于COVID-19的供需調(diào)整，ASP可能會在供應分配的推動下暫時略有上升，然后回落到COVID之前的水平，并繼續(xù)緩慢下降。
由于工業(yè)，醫(yī)療和消費者物聯(lián)網(wǎng)的趨勢，有可能出現(xiàn)新一輪更強的ASP侵蝕浪潮。
由于增加了與傳感器結(jié)合的功能，例如更多軟件，數(shù)據(jù)預處理，邊緣計算，邊緣AI等，ASP將再次增加。
Yole認為玩家將嘗試通過向傳感器添加功能/處理來獲取更多價值，因此第三種情況或第一種和第三種情況的混合是最可能的。
每個MEMS器件的獨特性將驅(qū)動其未來
在整個市場上，AV，EV，ADAS，AR / VR，工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)和互聯(lián)工廠，醫(yī)療保健轉(zhuǎn)型和遠程醫(yī)療受到了電子產(chǎn)業(yè)大趨勢中的影響。MEMS涵蓋了廣泛的領(lǐng)域，包括與不同的最終市場/應用相關(guān)的多種類型的MEMS器件。
盡管2018年與頂級消費公司提供的忠誠度計劃有關(guān)，但由于數(shù)字化，噴墨打印頭消費市場正遭受家用打印機需求疲軟的困擾。與噴墨打印機競爭，基于噴墨的單次通過辦公室打印機的需求仍然很低。
未來，由于商業(yè)和工業(yè)市場對大型MEMS打印頭的需求，預計會有小幅增長。在工業(yè)應用中或在墨水可能阻塞噴嘴的情況下，墨水再循環(huán)對于噴墨打印頭制造商變得越來越重要，因為這能提高打印質(zhì)量和打印頭壽命。
綠色機動性趨勢將導致汽車中需要更多的壓力傳感器（MAP，BAP，變速箱油壓，GPF，DPF等），部分被向更多EV（無ICE動力總成）的轉(zhuǎn)移所抵消。盡管TPMS市場在2019年遭受重創(chuàng)，但工業(yè)和醫(yī)療應用將會成為未來的成長動力，例如過程控制和HVAC以及血液監(jiān)測設備和呼吸設備。可以肯定的是，汽車系統(tǒng)和消費品制造商對平均售價的強勁需求使設備制造商承受著巨大的壓力。
語音個人助理（VPA）的流行，例如Apple的Siri，亞馬遜的Alexa和Google Assistant，已將音頻技術(shù)推向采用VPA作為新的人機界面的新系統(tǒng)。這個界面可以看作是一個小工具，例如用于智能手機，但是對于廚房/智能家居助手或智能手表則更明顯，因為它們的可訪問性或小巧的尺寸阻止了觸摸界面的出現(xiàn)。或用于汽車，因為在駕駛時雙手需要避免觸摸屏。語音互聯(lián)網(wǎng)的普遍趨勢將推動MEMS麥克風市場。
慣性傳感器變得越來越智能。性能一直在不斷提高，從而允許以算法的形式在傳感器級別和許多用例（步數(shù)，手勢識別，體育活動識別）上添加功能。它們在保健和健身可穿戴設備方面也具有很高的潛力，并且正在用于監(jiān)測患者活動的醫(yī)療可穿戴應用程序的場景中獲得支持。他們從獨立傳感器到更多組合（IMU）的趨勢仍在繼續(xù)。
光學MEMS仍在掙扎（例如投影儀和微型投影儀）。但是，用于LIDAR或其他光投影應用的MEMS微鏡似乎很有前途，許多公司都押注這項技術(shù)，當中包括AEYE，Luminar，Velodyne，Robosense，Benewake，Valeo，Infineon，Innoviz。
由于COVID-19，熱感測/成像MEMS（熱電堆和測微輻射熱計）的發(fā)燒檢查應用需求激增。如果滿足技術(shù)/成本要求并且對消費者進行了此項技術(shù)的教育，那么在2020年的這種熱潮可能導致熱成像/傳感（集成在智能手機中）的消費化。華為于2020年6月發(fā)布了智能手機Honor Play 4 Pro就集成了用于溫度測量的熱傳感器。
在微流體（microfluidics）領(lǐng)域，越來越多的有前途的公司正在使用硅芯片進行即時檢驗，這將擴大該細分市場的規(guī)模。基于硅/ CMOS芯片的新型即時醫(yī)療產(chǎn)品正在開發(fā)中，并開始投放市場（InSilixa，DNAe，Mobinostics，Qorvo Biotechnologies，Genalyte，Ontera），并且這種趨勢在未來幾年肯定會繼續(xù)。COVID-19也將促進基于微流體的診斷測試市場。
5G將越來越多地在智能手機中采用，它將需要基于RF MEMS的4×4 MIMO濾波器。滲透速度快于預期可能會導致高頻BAW技術(shù)的加速發(fā)展。預計該市場將繼續(xù)增長，特別是由于專用于5G的新頻段的到來。多家制造商的電話中越來越多地采用MEMS計時（振蕩器），在部署新的5G基站時也需要它們。
包括麥克風，溫度，濕度和壓力傳感器在內(nèi)的環(huán)境（開放式）hubs對智能家居設備/產(chǎn)品越來越感興趣。同樣，除了將氣體傳感器集成到汽車中之外，另一種可能性是例如在城市關(guān)鍵點的各種基礎設施中使用它們。然后，汽車可以通過V2X連接到這些基礎設施，從而以這種方式獲取本地空氣質(zhì)量的實時信息。
最后，對諸如微型揚聲器之類的未來MEMS的需求將不斷增長，它們可以利用其潛力來實現(xiàn)低功耗，更小尺寸以及更高的聲音指向性，并集成到許多消費類設備中。
傳統(tǒng)的電動揚聲器技術(shù)已經(jīng)超過50年沒有大的改變了，而MEMS可以為小型化提供替代方案。Butterfly Networks公司通過其cMUT為超聲民主化和醫(yī)學檢測消費化開辟了道路。
此外，盡管與其他技術(shù)（光學指紋或3D面部識別以解鎖手機等）一直存在競爭，但智能手機中用于超聲指紋傳感器的pMUT似乎很有希望。在數(shù)據(jù)充斥的世界中需要更好的隱私可能意味著，出于冗余的考慮，將有多個身份驗證解決方案是強制性的。
下一步和前進的方向？
MEMS是成熟的技術(shù)，在過去的10年中，MEMS制造領(lǐng)域沒有出現(xiàn)重大突破。主要的技術(shù)趨勢正在轉(zhuǎn)變；以前，他們是要提高產(chǎn)量，降低成本，提高集成度；現(xiàn)在，MEMS設備正在向更高的精度，超低功耗和嵌入式智能轉(zhuǎn)變。
此外，MEMS市場正面臨一些挑戰(zhàn)。一方面，增加新一代MEMS器件的開發(fā)成本需要更多。為此我們需要不斷地擴展的市場，以分攤這些成本并最大程度地降低任何相關(guān)風險。另一方面，僅關(guān)注傳感器本身（在傳感器/硬件級別）及其固有性能不足以打開新市場。
為了從傳感器和其他類型的數(shù)據(jù)（慣性，音頻，環(huán)境等）中獲得更多價值，需要邁向更加復雜的算法，軟件和計算級別。例如，一個目標是使智能手機和可穿戴設備變得更智能，以便它們可以預測用戶需求。因此，可以融合各種輸入，例如GPS和慣性/壓力傳感器（位置），日歷，旅行預約，運動傳感器（活動水平）等。
從他們的角度來看，MEMS傳感器制造商正在尋求差異化，同時試圖提升價值鏈并同時保持成本效益。為此，他們可以遵循以下三個路徑之一（圖3）：
通過開拓新市場來尋找新的應用和用例；
通過應用于現(xiàn)有用例的改進算法和軟件來匯總功能；
添加額外的處理并最終進行計算，這可能會轉(zhuǎn)化為更多的Si出售給同一客戶。
圖3
當然，這些不是唯一的選擇。有些玩家已經(jīng)在追求價值的過程中遵循不同的策略（圖4）。博世就是一個例子，它使用高通的軟件開發(fā)平臺來針對現(xiàn)有客戶用例改進其算法。示例包括具有改進的角度檢測算法的汽車應用陀螺儀以及具有改進的傳感算法的環(huán)境傳感器。
圖4
像Knowles這樣的音頻玩家會更多地押注傳感器附近的數(shù)據(jù)處理以及邊緣的額外智能。這就是他們在Google Pixel Phone上實現(xiàn)的。Pixel 3合并了3個Knowles的麥克風（每個成本0.25美元），但在Pixel 4中，他們成功贏得了應用處理器之外的獨立音頻處理器的design-win（成本為1.5美元），最終設法提高了價值與這個客戶的比例提高了200％。
TDK與高通公司合作，開發(fā)套件（RoboKit）結(jié)合使用融合算法和高通的AI引擎。意法半導體（ST）擁有一種慣性傳感器產(chǎn)品（iNemo，它是MEMS IMU），該產(chǎn)品在MCU中包含嵌入式機器學習核心。
最后，有一些在邊緣AI上工作的初創(chuàng)公司不一定制造傳感器，而是與MEMS玩家（英飛凌與Aspinity和Syntiant，意法半導體與Cartesiam）合作以利用傳感器數(shù)據(jù)。邊緣的處理和智能，尤其是針對MEMS麥克風和慣性的智能，變得越來越重要。
先前的示例指出了一件事情：從軟件到硬件再到系統(tǒng)級，生態(tài)系統(tǒng)中各個參與者的協(xié)作是必不可少的，因為這能促使該行業(yè)向前發(fā)展。最后，整體感知是關(guān)鍵，尤其是現(xiàn)在最終用戶需要更完整的解決方案，而不是獨立的組件。
為了使MEMS廠商擺脫商品化周期和傳感器價值下跌的影響，他們可以通過更改業(yè)務模型或通過并購來重新定位自己，將價值鏈向上轉(zhuǎn)移至更多數(shù)據(jù)處理并最終進行計算，這首先可以在云中完成并最終在邊緣（圖5）。
圖5
一個非常新鮮的例子支持了這種觀點：mCube（一家慣性MEMS公司）最近收購了Kinduct，這是一家主要為體育運動員（但不僅限于此）提供完整分析平臺解決方案的公司，它利用了在云端處理的慣性傳感器數(shù)據(jù)并可以提供對客戶可行的見解。Kinduct擁有豐厚的客戶名單，例如奧運會委員會，NFL和NBA的知名人物等等。mCube了解了當前的問題，并瞄準了這一增長接力點。與我們周圍的超靈敏可穿戴設備和其他智能產(chǎn)品相關(guān)的可行見解變得越來越重要。
可以肯定的是，來自MEMS（以及其他傳感器）數(shù)據(jù)的額外智能將推動傳感器和系統(tǒng)級的更多創(chuàng)新，并為MEMS行業(yè)打開新的機遇。