近日，進博會如期在上海國家會展中心舉行，在設備館中，要不是ASML這名字大伙最近如雷貫耳，那跟周圍的輪船、飛機、潛水艇比起來，ASML的展臺一點都不顯眼。但論售價，展館里那臺1.4億元的直升機，可能都要遜色不少。

　　ASML展臺不缺人氣，一茬接一茬的人前來參觀咨詢，現場ASML的相關人員也在不斷的做著科普，有關光刻機的科普。人紅是非多，ASML展臺明明近在眼前，卻出現了兩種身份，一個是在規則下努力服務中國市場的ASML，一個是被情緒點爆的ASML。也因此產生了一些非理性誤讀。

　　7nm DUV這件事

　　首先是關于7nm DUV這件事，在ASML展區中，現場ASML工作人員對TWINSCAN NXT:1980Di的DUV光刻機原理進行了視頻演示，據稱，其可以用過多次曝光的手段制造7nm工藝。不過，一些關于ASML進博會報道的文章，標題中直接使用“7nm DUV”，卻是一個錯誤的說法，因為并不存在7nm DUV或者7nm EUV。

　　DUV是deep ultra violet （深紫外光）的縮寫，DUV光刻機使用的光源都是193nm波長的ArF excimer laser，EUV是極深紫外線（Extreme Ultraviolet Lithography），EUV光刻機光源則是13.3nm的laser pulsed tin plasma。而人眼可見光的波長為380nm到880nm。

　　DUV是一種光源，光刻機是一種投影曝光系統。在半導體制作過程中，光刻機會投射光束，穿過印著圖案的掩模及光學鏡片，將線路圖曝光在帶有光刻膠的硅晶圓上；通過光刻膠與光的反應來形成溝槽，然后再進行蝕刻、沉積、摻雜，架構出不同材質的線路。

　　其中掩膜版上面會有很多的布線，形成溝槽以后在里面會布很多的二極管、三極管等，來形成不同的功能。單位面積上布的線越多，能夠實現的功能就越多，效能也越高，耗能越少。

　　DUV光刻機，分為干分式與液浸式兩種。其中，液浸式于 ASML 手中誕生，其波長雖然有 193nm，但等效為134nm，經過多重曝光后，液浸式光刻機也能夠達到7nm工藝。但是，每多一次曝光都會使得制造成本大大提升，而且良品率也難以控制。

　　這其中，光刻機的分辨率表示光刻機能清晰投影最小圖像的能力，是光刻機最重要的技術指標之一，決定了光刻機能夠被應用于的工藝節點水平。最重要的公式就是ASML在進博會上放在最顯眼位置的公式，如下圖。

　　攝于進博會

　　λ代表光源波長；k1是工藝相關參數；NA被稱作數值孔徑，是光學鏡頭的一個重要指標。

　　據現場ASML介紹，本次所展示的1980Di型號DUV光刻機是目前全球DUV的主力機型，每小時能出275片wafer，已經被客戶使用的下一代DUV將會有更高效能。

　　圖源：ASML官網

　　關于媒體報道較多的DUV光刻機制造7nm工藝這件事，拿臺積電舉例，目前為止臺積電的7nm制程工藝分為第一代7nm工藝（N7）、第二代7nm工藝（N7P），以及7nm EUV（N7+）。其中N7和N7P使用的是DUV光刻，但為了用DUV制作7nm工藝，它還使用了沉浸式光刻、多重曝光等技術。而N7+則直接使用了EUV光刻，2017年，臺積電開始使用EUV進行7nm制程開發，并于2019年開始小規模量產，2020年大規模量產，主要產品包括智能手機處理器、HPC和汽車芯片。

　　N7制程方面，截至2019年底，總計有超過100個客戶產品投片，涵蓋相當廣泛的應用，包含移動裝置、游戲機、人工智能、中央處理器、圖形處理器，以及網絡連接裝置等。此外，N7+版本于2019年量產，協助客戶產品大量進入市場。

　　以上這三種7nm工藝雖然在性能、功耗等方面表現優異，但成本都十分高昂。

　　ASML的中國市場

　　對于中國大陸市場來說，ASML就立刻變成了一家特別的公司，因為EUV未獲得美國許可證的問題，而處于風口浪尖之上。

　　在此前的2020年Q3季度財報會議的視頻采訪中，ASML公司的CFO Roger Dassen就表示，ASML了解美國當局目前的規章制度及其解釋，當然也知道這些與特定的中國客戶密切相關，但如果廣泛的來理解其規章制度對ASML的總體含義（對于特定的中國客戶），意味著ASML將能夠從荷蘭向這些中國客戶提供DUV光刻系統，且無需出口許可證。

　　也正如ASML在進博會上所說，對向中國出口集成電路光刻機持開放態度，對全球客戶均一視同仁，在法律法規框架下，都將全力支持。

　　據筆者現場了解，ASML的DUV光刻機在中國大陸DUV市場上有著絕對的主導權，放眼整個中國制造業，當下階段DUV對中國大陸市場有著非常重要的意義。據了解，位于中國臺灣的臺積電，集聚1000名技術工程師，花費10年左右的時間，才完成對EUV光刻機的駕馭。中國大陸與其差距仍非常巨大，需從基礎功打磨起。

　　關于中國大陸市場，幾個月前在廣州舉行的CICD 2020上，ASM全球副總裁、中國區總裁沈波就表示，在1989年，ASML的光刻機就來到了中國，2000時，在中國成立了第一家辦公室。在過去的20年中，ASML在中國迅速發展。目前ASML在中國已有700多臺光刻機的裝機，幾乎所有主要芯片生產廠商都有ASML的服務。ASML在中國大陸12個城市有辦事處或分支機構，2020年中國區有超過1100人的團隊，為行業新增和培育了大量光刻技術人才。

　　“中國將成為全球成熟制程芯片最大市場，在成熟制程芯片的智造領域，ASML提供差異化的解決方案，共同推進行業創新和增長。”

　　攝于進博會

　　不同于半導體垂直行業展會，進博會的涉獵極其廣泛，ASML這家近幾年快速變成網紅的企業，身處其中容易招來許多偏見。ASML展臺上，觀看并聽取現場工作人員科普的觀眾絡繹不絕，充滿熱情的觀眾似乎想弄清楚ASML到底是怎樣的存在。這家伴隨并推動全球半導體發展的公司，也正在努力消除人們心中某些不必要的隔閡。