2019年8月28日，微機電系統（MEMS）、納米技術和半導體市場晶圓鍵合與光刻設備領先供應商EV集團（EVG）今日宣布，與特種玻璃和微晶玻璃領域的世界領先技術集團肖特攜手合作，證明300－mm（12英寸）光刻／納米壓印（NIL）技術在下一代增強現實／混合現實（AR／MR）頭戴顯示設備的波導／光導制造中使用的高折射率（HRI）玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒。

此次合作涉及EVG的專有SmartNIL?工藝和SCHOTT RealView?高折射率玻璃晶圓，將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics?能力中心進行。肖特將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVG SmartNIL技術進行圖案成形的300－mm SCHOTT RealView?玻璃晶圓。

300－mm和200－mm SCHOTT RealView?玻璃基板，裝配在應用SmartNIL? UV－NIL技術的EVG? HERCULES? NIL系統

肖特增強現實負責人Ruediger Sprengard博士表示：“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到300－mm，對于實現我們客戶滿足當今和未來領先AR／MR設備不斷增長的市場需求所需的規模經濟產量來說至關重要。通過攜手合作，EVG和肖特彰顯了當今300－mm高折射率玻璃制造的設備和供應鏈的就緒性。”

在此之前，使用光刻／納米壓印技術對具有光子學應用結構的玻璃基板進行圖案成形僅限于200－mm基板。向300－mm晶圓加工的遷移是將AR／MR頭戴顯示設備推向大眾消費和工業市場邁出的重要一步。不過，在這些較大的基板上保持高基板質量和工藝均勻性是很難控制的，需要先進的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術得益于多年的研究、開發和實驗，旨在滿足納米圖案成形的需求，經過了現場驗證，能夠輕松從晶圓級樣品尺寸擴展到大面積基板。去年六月，EVG推出了HERCULES? NIL 300 mm，將SmartNIL引入300－mm制造，滿足各種設備和應用的生產需求，其中包括AR、MR和虛擬現實（VR）頭戴顯示設備的光學器件以及3D傳感器、生物醫療設備、納米光子學和等離子電子學。

集成到 SmartNIL? UV－NIL系統的全模塊化EVG HERCULES NIL 300 mm

EV集團企業技術開發和知識產權總監Markus Wimplinger表示：“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為光刻／納米壓印技術供應鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創新孵化器，從而縮短創新光子器件和應用的開發周期和上市時間。我們很高興與肖特公司合作，證明EVG光刻／納米壓印技術解決方案的價值，不僅有助于新技術和新工藝的開發，還能夠加速新技術和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作，彰顯了光刻／納米壓印技術設備和工藝的成熟性，為各種令人興奮的基于光子學的新產品和新應用的300－mm制造奠定了基礎。”

SCHOTT RealView?高折射率玻璃晶圓是領先AR／MR設備的關鍵組件，已經實現了批量生產。產品組合提供了高達1．9的折射率，支持深度沉浸的AR／MR應用，視野更廣，高達65度。在與增強現實硬件制造商進行多年研發之后，肖特在2018年推出了第一代SCHOTT RealView?。這款高端產品在上市一年后便榮獲了享有盛譽的2019年SID顯示行業獎（SID Display Industry Award 2019）。