日前，廣立微（Semitronix）順利完成了第一臺量產(chǎn)用WAT測試機(jī)Semitronix Tester T4000的出口和交付。目前測試機(jī)已在客戶端完成安裝調(diào)試和驗(yàn)收工作，設(shè)備性能穩(wěn)定、運(yùn)行可靠，技術(shù)指標(biāo)完全符合客戶的預(yù)期要求。

十年磨一劍，廣立微（Semitronix）自2010年就開始晶圓級電性測試機(jī)的研發(fā)。從最初的硬件架構(gòu)設(shè)計(jì)、工程機(jī)的研發(fā)、客戶端試用、設(shè)備升級到滿足WAT機(jī)臺的技術(shù)指標(biāo)經(jīng)歷了穩(wěn)步前進(jìn)的發(fā)展過程。期間，研發(fā)用測試機(jī)獲得海內(nèi)外多家知名半導(dǎo)體企業(yè)采購使用，并得到了客戶的高度認(rèn)可，為我們最終進(jìn)入WAT設(shè)備市場奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

廣立微（Semitronix）首臺量產(chǎn)用WAT測試機(jī)的成功交付和驗(yàn)收標(biāo)志著公司測試機(jī)產(chǎn)品正式進(jìn)入WAT市場，是公司硬件設(shè)備產(chǎn)品發(fā)展過程中的重要里程碑。目前廣立微（Semitronix）測試機(jī)中心已經(jīng)能夠滿足批量設(shè)備的訂購生產(chǎn)，同時公司還提供設(shè)備的定制服務(wù)。

產(chǎn)品介紹

隨著集成電路先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的不斷推進(jìn)，晶圓級WAT的測試效率成為制約晶圓廠研發(fā)進(jìn)程和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素。廣立微（Semitronix）的第四代高速半導(dǎo)體電性測試機(jī)(Semitronix Tester IV)具有測試靈活、測試速度快、測試精度高等核心優(yōu)勢，能夠?yàn)榭蛻籼峁?zhǔn)確且高度自動化的WAT與測試芯片測量解決方案，可以用于快速和精確地監(jiān)控工藝及可靠性。

在測試功能上，兼容行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的晶圓探針臺，能夠提供WAT測試中所需評估的所有測試項(xiàng)，支持標(biāo)準(zhǔn)與并行兩種測試模式；

T4000最多支持到48個測試通道（pads），T4100最多支持到128個測試通道；

最多可配置22個SMU通道，包括快速SMU和高精度SMU的優(yōu)化配置；

包括LCR Meter、Pulse Generator和FMU (Frequency Measurement Unit)等測試單元；

配備高性能的切換矩陣。通過切換矩陣，所有的測試單元能夠被所有測試通道共享，極大的

提高了硬件利用率，從而降低了測試成本；

在測試速度上，相對于普通測試機(jī)有4X到10X的提升；

在測試精確度上，小電流測試精確度達(dá)到pA級以下直至0.1pA，電容測試精確度達(dá)到0.1pF級以下；

提供完整和靈活的軟件環(huán)境：包括Algorithm Builder、Test Plan Builder和Framework，支持Fab的EAP系統(tǒng)從而實(shí)現(xiàn)全自動測試；

在產(chǎn)品質(zhì)量上，遵循最嚴(yán)格的產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，其安全性標(biāo)準(zhǔn)已經(jīng)過權(quán)威第三方檢測獲得了歐盟CE認(rèn)證。

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小電流可重復(fù)性（Ioff)

廣立微（Semitronix）高性能WAT測試機(jī)擁有完全自主的知識產(chǎn)權(quán)，其性能達(dá)到或超過業(yè)界常用的WAT測試機(jī)。T4000的研發(fā)完成并成功產(chǎn)業(yè)化完善了公司集成電路成品率提升和工藝監(jiān)控的產(chǎn)品生態(tài)鏈，增強(qiáng)了公司的技術(shù)實(shí)力和市場競爭力。同時，該產(chǎn)品的推出為全球集成電路行業(yè)發(fā)展提供了有力的支持，也將為支持國內(nèi)高端集成電路產(chǎn)業(yè)鏈完善，進(jìn)而推動國內(nèi)整個集成電路行業(yè)的發(fā)展和升級起到重要的作用。