美國最大的開放式MEMS 技術和制造服務提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司與北京大學微納電子學研究院繼續開展戰略合作，并已將第三屆（2017年度）MEMS專項獎學金頒發給該院的三位優秀學生，以鼓勵他們在MEMS工藝技術研究與開發領域所做的貢獻，并激勵更多青年學人關注和投身MEMS制造工藝技術創新。官勇、賈德林和宋宇三位同學獲得了該年度的專項獎學金。

　　作為全球領先的MEMS技術領域純晶圓代工企業，近年來IMT已與中國半導體生態中各類伙伴開展了廣泛而深入的合作。不僅為中國領先的器件設計公司代工生產了先進的MEMS產品，還與諸多研究機構開展了多項MEMS工藝研發合作，而已經連續三年為北京大學微納電子學研究院的學生頒發的MEMS專項獎學金，目的在于支持MEMS及相關領域內的未來之才開展創新，并在更廣泛的范圍內進一步推動MEMS制造工藝技術頂尖人才的培養。

　　經過三年的運行和積累，IMT-北京大學微納電子學研究院MEMS專項獎學金吸引了越來越多的學生參與。在對所有申請獎學金的候選人進行大量評估和答辯后，北京大學微納電子學研究院將2017年度獎學金授予了官勇、賈德林和宋宇這三位展現出優秀研究成果的學生。這三位IMT獎學金獲得者的研究方向分別為硅通孔轉接板制作工藝基礎研究，聚酰亞胺犧牲層工藝及其在光學讀出紅外/太赫茲焦平面陣列探測器中的應用，以及碳納米管導電網絡的制備工藝及其在智能能量系統中的應用。他們的研究成果在MEMS工藝技術方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及應用中具有發展潛力和前景。

　　MEMS技術在我們的工作和生活中早已無處不在，包括消費電子、汽車、航空航天、機械、化工、醫藥等在內的眾多領域都已存在MEMS產品的身影。MEMS產品具備體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等諸多優點。MEMS技術的持續演進，推動了器件制造工藝、新材料及封裝等方面的創新，同時激勵著IMT 和北京大學微納電子學研究院等領先的研究機構積極開展合作，共同推進相關制造技術的研究和開發，以應對物聯網、智能化和生物科技等等領域內快速發展的需求。

　　“IMT與北京大學微納電子學研究院的合作已有三年，很高興看到三年來同學們在MEMS技術研究方面所取得的進步和突破，他們高質量的論文和對創新的追求令我們印象深刻，”IMT 首席執行官Craig Ensley先生表示。“雙方合作的這三年，MEMS技術在不斷向前發展，無論基礎性技術的演進還是應用領域的拓展，都讓我們對MEMS產業的前景抱有極大的信心。在中國，集成電路產業也已發展到一個新的時代，技術創新、產品開發、資本參與和國際合作等方面都已邁上一個新的臺階，IMT期待利用自己全球領先的 MEMS 器件加工技術服務為中國MEMS產業帶來新的、更大的發展機會。”

　　“自2015年與IMT形成戰略關系以來，雙方在開發新的MEMS制造工藝及技術方面展開了卓有成效的合作并已經從中獲益。過去的三年，MEMS專項獎學金已經授予了8位學生和1個學生團隊，激勵了同學們去深入探索MEMS制造工藝技術創新，并通過所開展的研究在相關領域內做出了實際貢獻。”北京大學微納電子學研究院王瑋教授表示，“通過與IMT這樣全球領先的MEMS制造服務公司合作，北京大學微納電子學研究院進一步加快了對MEMS技術的研究進程，雙方將共同推動MEMS新技術、新工藝的誕生，并為行業培養更多的優秀工藝研發人才。”

　　關于IMT（Innovative Micro Technology ）

　　IMT是全球領先的MEMS技術和晶圓制造服務商，擁有多樣化的工藝和客戶。IMT成立于2000年，專門生產微機電系統（MEMS）器件。IMT擁有占地130,000平方英尺的生產廠，其中有一間30,000平方英尺、等級為100的無塵室/晶圓廠，是世界上最大、配置最精良的MEMS晶圓廠之一。IMT提供MEMS量產，以及從設計到生產過程的制造服務。IMT服務的企業分布在各個應用領域，包括繼電器、醫療診斷、給藥、生物醫學、微流體、顯示屏、慣性導航、光學通信、印刷、夜視儀、紅外發射器、電話/DSL切換、射頻器件、電源管理、各類傳感器及相關領域。IMT將始終與各公司密切合作，共同研發和制造基于MEMS技術的新型產品。更多信息，請訪問www.imtmems.com。

　　關于北京大學微納電子學研究院

　　北京大學微納電子學研究院（IME/Peking University）是中國頂級的微電子/納米電子科技研究和教育基地。其特點是擁有一套完整的教學、培訓和研究體系，并配有各種先進設施。該研究院的雄厚實力反映在其水平優異、數量充足的教職員工隊伍上： 30 位教授、4 位教授級高級工程師、22 位副教授、10 位高級工程師、10 位講師和工程師。他們中有很多人是公認的微電子學專家，包括舉世聞名的科學家王陽元院士和黃如院士。該院還有三個配有先進研究條件的國家級或省部級重點實驗室，研究條件與世界上其他著名大學不相上下。該院每年招收本科生約 70 人，碩士生和博士生 50 余人。

　　北京大學微納電子學研究院集成微納系統 (MEMS) 中心成立于 1996 年，是微米/納米加工技術國家級重點實驗室的一部分。其包含對硅基微納加工技術、微納傳感器與執行器和微納系統集成技術的基礎研究和應用研究。近五年來，在頂級會議和期刊（如 IEEE MEMS、Transducers、MicroTAS、Small、Lab Chip、JMEMS 和 JMM）上發表了 150 余篇高質量研究論文。該中心還致力于促進其研究成果的產業化。例如，First MEMS 有限公司通過應用該中心的MEMS技術批量生產了壓力傳感器，由此為中國大陸帶來了創新。有關更多詳細信息，請訪問www.ime.pku.edu.cn。